[實用新型]真空處理系統

有效

• 申請號: 201020698827.1
• 申請日: 2010-12-20
• 公開（公告）號: CN201966237U
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 胡兵;吳紅星
• 申請（專利權）人: 理想能源設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

技術領域

本實用新型涉及一種真空處理系統，尤其涉及一種生產薄膜太陽能電池的真空處理系統。

背景技術

如圖1所示，是現有技術中生產薄膜太陽能電池的真空處理系統的結構示意圖。所述生產薄膜太陽能電池的真空處理系統1包含傳輸腔11，加載卸載腔12和若干處理腔13。其中，所述加載卸載腔12和所述處理腔13呈星型設置在傳輸腔11的周圍。并且，所述傳輸腔11包含一腔體111和設置在所述腔體111中的傳輸機械手112。所述每個加載卸載腔12和每個處理腔13分別通過一個隔離閥14與所述傳輸腔11的腔體111相連接。

然而，當需要對上述的生產薄膜太陽能電池的真空處理系統1的內部進行維修或維護時，為了能進入到所述真空處理系統1的內部，需要先將呈星型設置在傳輸腔11周圍的處理腔13或加載卸載腔12中的一個或多個拆卸下來；在對所述真空處理系統1完成維修或維護工作后，再重新裝配之前被拆卸下來的處理腔13或加載卸載腔12，使所述處理腔13或加載卸載腔12再次與傳輸腔11連接。

由于所述處理腔13或加載卸載腔12與傳輸腔11的連接需要精確對位，且通常所述處理腔13或加載卸載腔12都較重，同時在拆裝過程中又極容易對傳輸腔11造成污染。因此，造成所述生產薄膜太陽能電池的真空處理系統1的內部維修或維護非常不方便，需要耗費大量的時間和人力物力成本，降低了生產效率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種生產薄膜太陽能電池的真空處理系統，以解決現有技術中對真空處理系統內部維護不便的問題。

本實用新型的技術方案是提供一種用于處理襯底的真空處理系統，其包含傳輸腔，以及設置在所述傳輸腔周圍并與所述傳輸腔連接的加載卸載腔和處理腔；其中，所述傳輸腔上設置有維護入口。

所述維護入口設置在所述加載卸載腔與所述處理腔之間的所述傳輸腔的側壁上，或者設置在所述處理腔與處理腔之間的所述傳輸腔的側壁上，或者設置在所述加載卸載腔與加載卸載腔之間的所述傳輸腔的側壁上，或者設置在上述位置的部分或全部。

所述處理腔包含若干垂直堆棧設置的子處理腔。

所述維護入口包含若干可獨立開啟和關閉的子入口，每個子入口分別與所述子處理腔對應設置。

所述加載卸載腔包含若干垂直堆棧設置的加載卸載子腔，所述每個加載卸載子腔分別與所述子處理腔對應設置。

所述每個加載卸載子腔內設置有襯底加熱裝置。

所述傳輸腔還包含一設置在傳輸腔底面中央的傳輸機械手。所述傳輸機械手包含在垂直方向上層疊設置的若干搬運臂，每個搬運臂與所述加載卸載子腔以及子處理腔對應設置。

所述加載卸載腔的兩端分別設置有隔離閥，其一端通過隔離閥固定安裝在傳輸腔的側壁上，使所述加載卸載腔與傳輸腔連接；所述加載卸載腔的另一端通過所述隔離閥與大氣隔離。

所述處理腔的一端通過隔離閥固定安裝在傳輸腔的側壁上，使所述處理腔與傳輸腔連接。

所述真空處理系統用于生產薄膜太陽能電池的真空處理系統，所述襯底的面積大于等于0.7平方米。

使用本實用新型所述生產薄膜太陽能電池的真空處理系統，具有以下優點。

1、在傳輸腔側壁上設置有維護入口，維護人員可以方便地開啟所述維護入口，并通過所述維護入口對所述真空處理系統的內部進行維護工作，無需對處理腔或者加載卸載腔進行拆除和再裝配，省時省力。

2、由于所述處理腔包含多個垂直堆棧設置的子處理腔，所述加載卸載腔包含多個垂直堆棧設置的對應子處理腔，由此可以一次處理多片襯底，同時對其進行加載、預熱、傳輸、沉積薄膜、卸載等，有效提高生產效率。

3、由于傳輸腔內需要較高的潔凈度，而且所述生產薄膜太陽能電池的真空處理系統的維護主要是對處理腔內的子處理腔進行維護。因此，通過設置與所述子處理腔對應的維護入口的子入口，可以方便對子處理腔進行維護的同時，減少對傳輸腔的污染，以保持傳輸腔的潔凈度。

4、在每個加載卸載子腔內均設置有加熱裝置，可以對襯底進行預熱，從而減少襯底在處理腔中沉積薄膜時的加熱時間，進一步提高生產效率。

附圖說明

圖1是現有技術中生產薄膜太陽能電池的真空處理系統的結構示意圖。

圖2是本實用新型中生產薄膜太陽能電池的真空處理系統的結構示意圖。

圖3是圖2所示的生產薄膜太陽能電池的真空處理系統沿I-I線的剖面結構示意圖。

圖4是圖2所示的生產薄膜太陽能電池的真空處理系統的一種實施例沿II-II線的剖面結構示意圖。