[實用新型]一種CFC單晶爐坩堝結構

有效

• 申請號: 201020696547.7
• 申請日: 2010-12-31
• 公開（公告）號: CN201962421U
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 張志強
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐CFC材料坩堝，用于支撐和保護高純石英坩堝。

背景技術

申請號為200720064249.4的申請文件公開了一種CFC整體式坩堝結構。其存在以下設計缺陷。單晶爐的工作過程中要形成一個1500℃左右的高溫熱場，盛放硅料的高純石英坩堝在高溫環境下，發生熱形變，緊貼到保護其工作的CFC坩堝的內壁上。當其采用與其起相同作用的常規石墨坩堝那樣的三瓣結構時，在完成單晶硅的長晶過程，拆爐時可以很方便的分離石墨坩堝和石英坩堝。而通常為了提高強度將CFC坩堝制作成整體式結構時，在單晶爐停爐后，石英坩堝緊貼CFC坩堝，因兩者之間緊密相接，對石英坩堝施力將直接傳遞給CFC坩堝，使得通過破壞石英坩堝達到分離兩者的目的極為不易。通常需要強力敲擊才可能完成分離廢舊石英坩堝和CFC坩堝的動作，對CFC坩堝造成一定程度的破壞。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種CFC單晶爐坩堝結構，提高CFC整體式坩堝的使用壽命，減少單晶爐拆爐時，石英坩堝與CFC坩堝的分離時間。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種CFC單晶爐坩堝結構，坩堝為整體式坩堝，在坩堝的鍋體上開設多個通孔。在分離石英坩堝和CFC坩堝時，可直接穿過CFC坩堝的堝體上的通孔對石英坩堝施力，破壞石英坩堝，從而分離石英坩堝和CFC坩堝，便于CFC重新投爐使用。

進一步地，通孔在圓周方向和軸線方向上均勻布置。

通孔的形狀為圓形或多邊形結構。

通孔在圓周方向有2～8列，在軸線方向有2～12行。

本實用新型的有益效果是：增強其在實際應用時的可操作性。充分利用整體式CFC坩堝強度高的特點，在分離石英坩堝和CFC坩堝時，可直接穿過CFC坩堝的堝體上的通孔對石英坩堝施力，破壞石英坩堝從而分離石英坩堝和CFC坩堝，便于CFC重新投爐使用。通過這種方式，可以在破壞廢舊石英坩堝時，直接作用在石英坩堝壁上，在石英坩堝壁面的圓周和軸線方向上沖擊出小孔，從而破壞石英坩堝的穩定性，達到易于拆除的目的。另一方面，減少了再拆除石英坩堝時對CFC堝體的沖擊，從而減少對CFC坩堝的破壞作用，提高了其使用壽命。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明；

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖中，1.鍋體，2.通孔。

具體實施方式

如圖1所示，在整體式CFC單晶爐坩堝的堝體1側壁圓周方向布置4列，在軸線方向布置6行通孔2。在單晶爐完成長晶過程，拆爐時，通過CFC坩堝壁面上的通孔2，沖擊石英坩堝壁面達到破碎廢舊石英坩堝，分離石英坩堝和CFC坩堝的目的。