[實用新型]一種磁懸浮分子泵系統無效
| 申請號： | 201020696084.4 | 申請日： | 2010-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN201908851U | 公開（公告）日： | 2011-07-27 |
| 發明（設計）人： | 張凱;張小章;李奇志;鄒蒙;武涵 | 申請（專利權）人： | 清華大學;北京中科科儀技術發展有限責任公司 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 張杰 |
| 地址： | 100084*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁懸浮 分子 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁懸浮分子泵系統，包括泵體、置于泵體內的轉子、作用于所述轉子的徑向磁軸承和軸向磁軸承，其特征在于：
還包括，
安裝角α角度傳感器，安裝于分子泵內，用于檢測安裝角α的角度；
旋轉角β角度傳感器，安裝于分子泵內，用于檢測旋轉角β的角度；
顯示器，安裝于所述泵體的外表面，與所述安裝角α角度傳感器和所述旋轉角β角度傳感器連接并顯示其檢測的角度；
調整控制單元，用于調整分子泵的徑向磁軸承偏置電流、軸向磁軸承偏置電流和PID控制參數，其輸入端口安裝于所述泵體的外表面；
其中，以水平向右的方向為x軸正方向，垂直地面向上的方向為y軸正方向，建立直角坐標系，以磁懸浮分子泵轉子軸線相對于直角坐標系y軸正方向逆時針旋轉角度為磁懸浮分子泵的安裝角α；以徑向磁軸承定子的磁極對1產生的磁力與徑向磁軸承定子各磁極的合力的夾角為磁懸浮分子泵旋轉角β。
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