[實用新型]磁懸浮分子泵系統

無效

• 申請號: 201020696028.0
• 申請日: 2010-12-31
• 公開（公告）號: CN202004696U
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發明（設計）人: 張凱;張小章;李奇志;鄒蒙;武涵
• 申請（專利權）人: 清華大學;北京中科科儀技術發展有限責任公司
• 主分類號: H02N15/00
• 分類號: H02N15/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張杰

1.一種磁懸浮分子泵系統，包括磁懸浮分子泵，所述磁懸浮分子泵具有軸向磁軸承和徑向磁軸承；

其特征在于：還包括

第一電流檢測裝置，與所述磁懸浮分子泵電路連接，用于檢測所述磁懸浮分子泵實現靜態懸浮時的徑向磁軸承靜態電流；

第二電流檢測裝置，與所述磁懸浮分子泵電路連接，用于檢測所述磁懸浮分子泵實現靜態懸浮時的徑向磁軸承靜態電流；

位移檢測裝置，設于所述磁懸浮分子泵的轉子處，用于在分子泵工作時檢測的轉子位移，和計算輸出轉子位移偏差和轉子位移偏差變化率信息；

預設參數存儲介質，用于存儲模糊規則信息和相應的預設模糊控制數據；

控制裝置，所述控制裝置分別與所述磁懸浮分子泵、所述電流檢測裝置和所述位移檢測裝置連接，用于根據接收由所述電流檢測裝置傳送來的徑向磁軸承靜態電流信息、所述軸向磁軸承靜態電流信息，和由所述位移檢測裝置傳送來的轉子位移偏差信息和轉子位移偏差變化率信息，結合所述預設參數存儲介質中的所述模糊規則信息和相應的預設模糊控制數據進行模糊控制，輸出控制信號給磁懸浮分子泵實現所述磁懸浮分子泵在任意位置安裝時的穩定運行。

2.根據權利要求1所述的磁懸浮分子泵系統，其特征在于：

所述位移檢測裝置包括上徑向位移傳感器，下徑向位移傳感器和軸向傳感器。

3.根據權利要求2所述的磁懸浮分子泵系統，其特征在于：所述電流檢測裝置為電流傳感器；所述預設參數存儲介質為數據庫服務器。