[實(shí)用新型]高壓水噴淋裝置用噴嘴聯(lián)箱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020695505.1
• 申請日: 2010-12-31
• 公開（公告）號: CN201994267U
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王振榮;劉紅兵;黃利松
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/48;B05B15/00;B05B15/08
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

1.高壓水噴淋裝置用噴嘴聯(lián)箱，包括兩個以上的水箱，每個水箱上設(shè)置有兩個以上的噴嘴，其特征在于，每個水箱位置可調(diào)地安裝在支架上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高壓水噴淋裝置用噴嘴聯(lián)箱，其特征在于，水箱位置可調(diào)地安裝在L型連桿上，L型連桿位置可調(diào)地安裝在支架上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高壓水噴淋裝置用噴嘴聯(lián)箱，其特征在于，L型連桿上設(shè)置有第一通槽，水箱上設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，第一螺栓穿過第一通槽旋入內(nèi)螺紋孔內(nèi)將L型連桿與水箱連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高壓水噴淋裝置用噴嘴聯(lián)箱，其特征在于，支架上設(shè)置有第二通槽，L型連桿上設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，第二螺栓穿過第二通槽旋入L型連桿的內(nèi)螺紋孔，將L型連桿與支架連接。