[實用新型]多晶硅鑄錠爐上料用坩堝吊裝夾具

有效

• 申請號: 201020691668.2
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN202054925U
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 程宜紅;薛抗美;朱戰軍;陳龍;胡亞蘭
• 申請（專利權）人: 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 樓仙英;邵桂禮

技術領域

本實用新型涉及多晶硅的生產技術領域，特別是在多晶硅鑄錠爐上料過程中使用的一種坩堝吊裝夾具。

背景技術

在多晶硅的生產過程中，由于對鑄錠爐上料時直接將石墨坩堝放置在熱交換臺上，而石墨坩堝與熱交換臺的接觸位置直接影響到坩堝內置放的多晶硅生長時的熱場分布，因此在鑄錠爐上料時對石墨坩堝的定位要求非常高。具體地，在鑄錠爐上料時，石墨坩堝底板的每個邊緣與熱交換臺的邊緣外側的距離差異都應該嚴格控制在2毫米之內。

目前，多晶硅鑄錠爐上料通常使用液壓叉車將裝滿硅料的坩堝和坩堝護板平行送至鑄錠爐中心的熱交換臺上。在這一過程中，需要人工一邊量測石墨坩堝的底板與熱交換臺邊緣的距離，一邊利用液壓叉車的叉臂或撬棍來調整石墨坩堝底板的位置，來滿足鑄錠爐上料時石墨坩堝的位置要求。然而，在對石墨坩堝的位置進行調整時，石墨坩堝底板的兩側經常會在液壓叉車叉起石墨坩堝時受到沖擊，同時，由于操作人員在調整過程中使得石墨底板單邊受力不均等也會造成底板的損毀，減少了底板的使用壽命，增加了生產成本。

發明人范玉紅等提出一種用于吊裝石英坩堝的夾具，該夾具于2009年11月19提交了實用新型專利申請，申請號為200920254518.2。該夾具的提出目的是方便石英坩堝的吊裝并減少對坩堝本身因硬性沖擊而帶來損傷，其包括吊架1和加緊裝置1，吊架1的底端與夾緊裝置活動連接，其中所述夾緊裝置2由兩瓣或兩瓣以上的弧形卡盤3構成，弧形卡盤的內弧面與石英坩堝的外圓相配，相鄰卡盤3間采用鎖緊螺栓4聯接。

然而，范玉紅等提出的這種夾具是直接卡緊到石英坩堝的外圓上而并非夾緊在坩堝用的底板上，這樣仍然易于對坩堝造成直接的損傷。因此，迫切需要改進上料方式，提供一種結構簡易且安全方便的吊裝夾具。

實用新型內容

因此，本實用新型的目的是解決現有的鑄錠爐上料時所遇到的上述問題，并提供一種多晶硅鑄錠爐上料用坩堝吊裝夾具，該吊裝夾具使得坩堝定位方便準確從而提高了上料效率，同時通過減少對坩堝底板的損毀從而延長了底板的使用壽命。

為實現上述目的，本實用新型提供一種多晶硅鑄錠爐上料用坩堝吊裝夾具，用于夾持其上放置有坩堝的坩堝底板，所述夾具包括吊裝架、夾持裝置和鎖緊機構，所述吊裝架的底端與所述夾持裝置活動連接，其特征在于，所述夾持裝置包括兩個沿第一方向相對平行設置的用于在其內夾持所述坩堝底板的夾持臂，以及由每個所述夾持臂的兩端向內延伸的活動臂，所述吊裝架的底端具有兩個沿橫向于第一方向的第二方向相對平行設置的支撐梁，每個所述活動臂相對相應的所述支撐梁可滑動地連接，所述鎖緊機構用于在所述夾持臂接合所述坩堝底板后將所述活動臂相對所述支撐梁鎖定。

優選地，所述鎖緊機構包括位于所述活動臂上的鉤形件以及位于支撐梁上的鎖緊手柄，當所述夾持臂接合所述坩堝底板時，所述鎖緊手柄上的搭扣件卡扣到所述鉤形件上，從而使夾持臂相對所述支撐梁固定并夾緊所述坩堝底板。

再進一步，所述夾具還包括限位機構，該限位機構包括限位銷和形成于所述活動臂上的滑槽以及形成于所述支撐梁上的限位孔，所述限位銷穿過所述限位孔以及所述滑槽將所述活動臂相對所述支撐梁可滑動地固定。

還進一步，在每個所述夾持臂上設置有向內延伸的定位承載銷柱，且在所述坩堝底板的相應兩側上設置有內孔，所述定位承載銷柱與對應的所述內孔相接合。定位承載銷柱和相應內孔的數量可根據需要設置，從一個到多個。

優選地，所述支撐梁內設有滑動通道，所述活動臂的自由端嵌套于該滑動通道內從而相對所述支撐梁向外可伸縮地滑動。

優選地，所述滑槽為設于活動臂的頂壁的縱向長槽。

優選地，所述活動臂的一端與所述夾持臂固定連接。

優選地，所述吊裝架是由底部支撐梁、兩側支撐框和頂部吊裝臂固接而成。

相比于現有技術而言，上述坩堝吊裝夾具可有效地解決上述所提及的上料過程造成的石墨底板的損毀，延長石墨底板的使用壽命，通過減少上料時對坩堝的位置調整來提高生產效率，同時能夠增強上料的靈活性，使定位方便準確，提高了上料效率。

附圖說明

圖1是根據本實用新型優選實施方式的多晶硅鑄錠爐上料用坩堝吊裝夾具的示意性透視圖，其中所述活動臂處于第一位置；

圖2是根據本實用新型優選實施方式中使用的石墨坩堝底板的示意性透視圖；

圖3是顯示圖1中坩堝用吊裝夾具的鎖緊機構的局部放大圖；

圖4是顯示圖1中坩堝用吊裝夾具的限位機構的局部放大圖；