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[實用新型]一種同時可實現多槽顯影的裝置有效

專利信息
申請號: 201020690704.3 申請日: 2010-12-30
公開(公告)號: CN201955621U 公開(公告)日: 2011-08-31
發明(設計)人: 吳海斌 申請(專利權)人: 福州時創電子科技有限公司
主分類號: G03F7/30 分類號: G03F7/30
代理公司: 廈門龍格專利事務所(普通合伙) 35207 代理人: 婁燁明
地址: 350003 福建省福州市鼓樓區*** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 同時 實現 顯影 裝置
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及半導體微電子及PCB制作的設備領域,尤其涉及到一種同時可實現多槽顯影的裝置。

背景技術

隨著電子工業與各類自動控制儀器的飛速發展,尤其是大規模集成電路的應用與超小儀器的設計;目前,在半導體微電子及PCB制作過程中起到圖形曝光成像后顯影功能的設備,其只有單一槽體進行單塊顯影物的操作,不能使多塊顯影物同時進行顯影功能;在使用時受到一定的局限性,對生產和學習造成一定的影響,且不能對顯影物進行溫度及一些相關數據進行全部監控。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服上述現有技術中的不足之處而提供一種結構簡單、能同時實現多塊顯影物同時顯影的、實用的新型的同時可實現多槽顯影的裝置。

本實用新型是通過如下方式實現的:

一種同時可實現多槽顯影的裝置,其特征在于:主要包括有:控制系統和顯影裝置;

控制系統與顯影裝置通過連接設備相連接;

所述的控制系統包括主控箱1,所述的主控箱1上裝設有控制臺7,控制臺7上裝設有觸摸屏2和總開關3;總開關3位于觸摸屏2的下方;總開關3與主控箱1和控制臺7內部電路相連接;

所述的顯影裝置設有多個方形空腔裝置8,設于控制系統的一側邊;所述的空腔裝置8內部設有數個顯影槽4。

所述的空腔裝置8的上端設有保護蓋6。

所述的顯影槽4可更換槽體,安裝液位、溫度等監控裝置。

該裝置機體采用透明的塑料構成。

本實用新型設計結構簡單合理,本裝置通過數個可更換槽體,安裝液位,溫度等監控裝置,不僅起到保護作用,還解決了多塊顯影物同時進行顯影功能的作用。

綜上所述,本實用新型結構簡單、操作方便實用的一種同時可實現多槽顯影的裝置。

附圖說明

圖1本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

現結合附圖,詳述本實用新型具體實施方式:

如圖1所示,一種同時可實現多槽顯影的裝置,其特征在于:主要包括有:控制系統和顯影裝置:

控制系統與顯影裝置通過連接設備相連接;

所述的控制系統包括主控箱1,所述的主控箱1上裝設有控制臺7,控制臺7上裝設有觸摸屏2和總開關3;總開關3位于觸摸屏2的下方;總開關3與主控箱1和控制臺7內部電路相連接;

所述的顯影裝置設有多個方形空腔裝置8,設于控制系統的一側邊;所述的空腔裝置8內部設有數個顯影槽4。所述的空腔裝置8的上端設有保護蓋6。

所述的顯影槽4可更換槽體,安裝液位、溫度等監控裝置。

該裝置機體采用透明的塑料構成。

本實用新型設計結構簡單合理,本裝置通過數個可更換槽體,安裝液位,溫度等監控裝置,不僅起到保護作用,還解決了多塊顯影物同時進行顯影功能的作用。

本實用新型主要由主控箱1內的PLC可編程控制器實現本機各項功能控制,開啟總開關3后,通過觸摸屏2進行通訊,實現本機的溫度,液位等功能,依次開啟顯影槽4,當溫度和液位正常時,開啟內部攪拌裝置,通過各個顯影槽實現顯影功能,同時加裝了保護蓋6,防止了外界物件的掉入或人為碰觸。并且,完成時可同時實現顯影槽4槽里的物件顯影。

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