[實用新型]適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置無效
| 申請號: | 201020690470.2 | 申請日: | 2010-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN201933203U | 公開(公告)日: | 2011-08-17 |
| 發明(設計)人: | 孫國飛;陳輝;張鵬銘;朱鑫峰;張瑋;徐飛;吳建飛 | 申請(專利權)人: | 紹興精功機電有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 浙江翔隆專利事務所 33206 | 代理人: | 戴曉翔 |
| 地址: | 312028 浙江省紹興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 適用于 多晶 坩堝 燒結爐 電熱 裝置 | ||
1.適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,包括爐壁(1),設置在爐壁(1)上的電熱元件支承座(2),通過剛玉管支撐的電熱元件,所述剛玉管的兩端分別支承在橫向相臨的電熱元件支承座(2)上,其特征在于電熱元件支承座(2)的連接部通過連接組件與爐壁可更換式裝配。
2.根據權利要求1所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于所述連接組件包括通過連接件(7)固定在爐壁(1)上的連接座(3),一端鉤掛在連接座(3)上、另一端鉤掛在電熱元件支承座(2)連接部上的連接掛鉤(4),所述電熱元件支承座(2)的連接部上設有與連接掛鉤(4)的鉤接部相適應的掛鉤槽(5)。
3.根據權利要求2所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于每個電熱元件支承座(2)上至少對應的設置兩個連接掛鉤(4),分別設置在電熱元件支承座(2)的頂部和底部,或者分別設置在電熱元件支承座(2)相對的兩側面。
4.根據權利要求3所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于相臨上下電熱元件支承座(2)的分別設于陰陽配合部,即相臨的上電熱元件支承座(2)和相臨的下電熱元件支承座(2)上分別設置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
5.根據權利要求2所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于每個電熱元件支承座(2)僅頂部配合一個連接掛鉤(4)。
6.根據權利要求3所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于上下相臨的電熱元件支承座(2)的分別設于陰陽配合部,即相臨的上電熱元件支承座(2)和相臨的下電熱元件支承座(2)上分別設置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
7.根據權利要求2所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于所述的連接座(3)橫截面為半包圍的框型,連接座(3)的開口端設有掛鉤橫桿(6);所述電熱元件支承座上設置掛鉤槽開口平面與所述的掛鉤槽(5)成直角;所述連接掛鉤(4)兩端為直角形掛鉤部,該連接掛鉤(4)的一端鉤掛在掛鉤橫桿(6)上,另一端鉤掛在掛鉤槽(5)內。
8.根據權利要求2所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于所述的電熱元件支承座(2)的連接部與連接座(3)之間充填陶瓷纖維板、或硅鈣板、或其結合;或納米保溫板與陶瓷纖維板、硅鈣板的組合。
9.根據權利要求1所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于所述電熱元件支承座(2)的工作部為彎鉤支承部,該彎鉤支承部的中部設有軸向的加強板(10)。
10.根據權利要求9所述的適用于多晶硅坩堝燒結爐的電熱場裝置,其特征在于所述加強板(10)上部開設電熱元件走線孔(11),所述彎鉤支承部被加強板(10)分割成相對的兩個承接部(12)。
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