[實用新型]一體換熱式多晶硅氫化爐

無效

• 申請號: 201020688098.1
• 申請日: 2010-12-28
• 公開（公告）號: CN201923846U
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發明（設計）人: 趙新征;康繼紅;趙悅安
• 申請（專利權）人: 趙新征
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03;C01B33/107
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：包括反應器和通過反應器的反應后氣體加熱四氯化硅和氫氣混合物的換熱器，所述換熱器位于反應器下部并與其固定連接。

2.根據權利要求1所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述反應器包括反應器殼體和隔熱罩，所述隔熱罩內部空間為反應室，隔熱罩外表面與反應器殼體內表面之間形成豎向夾層；或者，隔熱罩本身形成豎向夾層；所述豎向夾層下部設置反應前混合氣體入口，豎向夾層上部開口與反應室連通。

3.根據權利要求2所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述換熱器為立式列管換熱器，所述立式列管換熱器的管程向上連通于反應室，向下設置反應后氣體出口，所述立式列管換熱器的殼程下部設置氫氣進口和四氯化硅進口，上部設置被加熱的混合原料氣出口。

4.根據權利要求3所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述立式列管換熱器的管程與反應室的連通方式為列管直接連通于反應室。

5.根據權利要求4所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述反應室與立式列管換熱器上管板之間設置隔熱板，隔熱板與立式列管換熱器的列管相對設置有與反應室連通的反應后氣體出氣孔。

6.根據權利要求5所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述反應室上部設置蓋板，蓋板上分布有連通于反應室和豎向夾層的進氣孔。

7.根據權利要求3至6任一權利要求所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述立式列管換熱器的列管為耐高溫金屬管，耐高溫金屬管至少上部管段的管內設置耐高溫保護層。

8.根據權利要求1至6任一權利要求所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述反應室的熱源為電加熱元件，所述電加熱元件的電極位于反應室上部固定設置于反應器殼體。

9.根據權利要求8所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述反應器殼體設置上封頭，所述電加熱元件的電極固定設置于上封頭，上封頭設置用于通入冷氫氣的第二氫氣進氣口。

10.根據權利要求8所述的一體換熱式多晶硅氫化爐，其特征在于：所述反應器殼體與換熱器殼體以可拆卸的方式固定連接或者通過焊接固定連接。