[實(shí)用新型]可輸出多個(gè)參量的硅電容差壓傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020686302.6
• 申請(qǐng)日: 2010-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN201993195U
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張治國(guó);李穎;劉劍;張娜;劉波;劉沁;徐秋玲;張哲;王雪冰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): G01L13/06
• 分類號(hào): G01L13/06;B81C1/00
• 代理公司: 沈陽(yáng)優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 崔紅梅

1.可輸出多個(gè)參量的硅電容差壓傳感器，在硅電容敏感芯體管座內(nèi)設(shè)置差壓測(cè)量敏感元件、靜壓敏感元件和溫度敏感元件，其特征在于將集靜壓、溫度敏感元件為一體的壓力溫度傳感器置于硅電容敏感芯體的燒結(jié)管座上，將各個(gè)敏感元件的輸出電極分別通過硅鋁絲壓焊與燒結(jié)管座的對(duì)應(yīng)引腳相連，并與檢測(cè)電路相連，將各敏感元件封裝在由金屬隔離膜片隔離密封的硅油充灌液中；該傳感器的兩引壓口分別與受壓部的高壓腔和低壓腔相連，外加壓力通過傳感器內(nèi)部的充灌液傳遞到敏感元件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可輸出多個(gè)參量的硅電容差壓傳感器，其特征在于差壓敏感單元(1a)的結(jié)構(gòu)，中心硅極板(1a-1)為雙面拋光的硅單晶片上采用微機(jī)械加工工藝制作，中間有一個(gè)和膜區(qū)相連的可以上下移動(dòng)的質(zhì)量塊(1a-8)，固定極板(1a-2)由雙拋玻璃制作，先在玻璃上加工出導(dǎo)壓孔(1a-7)再采用濺射、光刻等工藝在表面形成電極層(1a-6)，同時(shí)在導(dǎo)壓孔(1a-7)中形成金屬連線，做為玻璃固定極板電極的引出連線，玻璃底板(1a-3)和玻璃極板(1a-2)相連，在其邊有壓焊點(diǎn)(1a-9)以便實(shí)現(xiàn)電容下極板的電極引出，硅中心極板(1a-1)與玻璃固定極板(1a-2)、玻璃底板(1a-3)與導(dǎo)壓管(1a-4)采用靜電封接工藝連接在一起，玻璃固定極板(1a-2)與玻璃底板(1a-3)之間采用導(dǎo)電膠相連，導(dǎo)壓管(1a-4)和傳感器底座(7)之間采用焊接工藝實(shí)現(xiàn)氣密連接；采用壓焊工藝在焊點(diǎn)(1a-9)和燒結(jié)端子(6)之間形成硅鋁絲連線(1a-10)做為電容電極引出，最后將差壓敏感單元(1a)裝入基座(7)內(nèi)；在基座(7)內(nèi)有硅油作為外界壓力的傳導(dǎo)介質(zhì)。?