[實用新型]雙涂層石英坩堝

無效

• 申請號: 201020682681.1
• 申請日: 2010-12-28
• 公開（公告）號: CN201933195U
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發明（設計）人: 岳喜東
• 申請（專利權）人: 濟寧潤鵬光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及加工設備技術領域，更具體的說是一種直拉單晶爐使用的石英坩堝。

背景技術

石英坩堝可在1450度以下使用，分為透明和不透明兩種，用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發展大規模集成電路必不可少的基礎材料，當今，世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝，半透明石英坩堝具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點，目前，生產半透明石英坩堝采用的是高純石英砂，高純石英砂價格昂貴，使得生產出的半透明石英坩堝成本較高，制約了廠家的生產，影響了單晶硅行業的發展。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型設計了一種雙涂層石英坩堝，它的技術方案為：所述的雙涂層石英坩堝由普通石英層、氫氧化鋇層、高純石英層組成，其特征是：普通石英層的內側設置高純石英層，高純石英層的內側設置氫氧化鋇層。

本實用新型所述的高純石英層，其特征是采用高純度石英砂，熔制噴涂在普通石英層的內側。

本實用新型成本較低，內側涂有氫氧化鋇，可以大幅度的改善石英坩堝的使用壽命及長晶良率。

附圖說明：

附圖是本實用新型結構示意圖；附圖中：

1.普通石英層，2.氫氧化鋇層，3.高純石英層。

具體實施方式

結合附圖對本實用新型進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法，本實用新型具體的實施方案為：所述的雙涂層石英坩堝由普通石英層1、氫氧化鋇層2、高純石英層3組成，其特征是：普通石英層1的內側設置高純石英層3，高純石英層3的內側設置氫氧化鋇層2。

本實用新型所述的高純石英層3，其特征是采用高純度石英砂，熔制噴涂在普通石英層1的內側。

本實用新型成本較低，內側涂有氫氧化鋇，可以大幅度的改善石英坩堝的使用壽命及長晶良率。