[實(shí)用新型]基板緩沖暫存設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020681660.8
• 申請日: 2010-12-24
• 公開（公告）號: CN201946576U
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王全軍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/673;G02F1/1333
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，包括：

位于顯影單元的出口模塊下方，用于承載基板的緩沖架；

與所述緩沖架相固接，用于控制所述緩沖架的升降的升降裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，所述緩沖架包括：

長方形底框；

至少四個立柱，分別位于所述底框四角上；

設(shè)置在所述立柱上的承接件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，

每個立柱上承接件的數(shù)量相等，為至少一個；一個立柱上的一個承接件與其它立柱上的一個承接件構(gòu)成承接一塊基板的一個承接層，同一承接層的承接件位于同一水平面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，

所述承接件上具有防護(hù)凸起。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，

所述防護(hù)凸起的材質(zhì)為柔性且防靜電的材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，

所述升降裝置包括：

與所述緩沖架相固接的并裝有導(dǎo)軌的升降桿；

控制所述升降桿沿所述導(dǎo)軌升降的電機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板緩沖暫存設(shè)備，其特征在于，

所述電機(jī)與可編程控制器電連接。