[實用新型]一種熱阱

無效

• 申請號: 201020679311.2
• 申請日: 2010-12-24
• 公開（公告）號: CN201978651U
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發明（設計）人: 張金娟;雷青松;薛俊明;安會靜;李順軍
• 申請（專利權）人: 河北漢盛光電科技有限公司
• 主分類號: B01D53/34
• 分類號: B01D53/34;B01D53/70;H05B3/40
• 代理公司: 衡水市盛博專利事務所 13119
• 代理人: 李志華

技術領域

本實用新型屬于尾氣處理裝置技術領域，尤其涉及一種熱阱。

背景技術

金屬有機化學氣相沉積是制備化合物半導體薄膜的一項關鍵技術，也是應用于太陽能電池行業的一項關鍵技術。它利用較易揮發的有機物如Zn(C₂H₅)₂等作為較難揮發的金屬原子的源反應物，通過載氣Ar攜帶到反應器中，與H₂O發生反應，在加熱的基片上生成ZnO薄膜，作為太陽能電池的緩沖層，起到陷光和增加光程的作用。金屬有機化學氣相沉積系統一般包括源供給系統、氣體輸送系統、反應室、加熱系統、尾氣處理系統、控制系統、晶片取放系統。尾氣處理系統中的廢氣包括反應后殘留的Zn(C₂H₅)₂氣體、殘留的水蒸氣、Ar載氣及B₂H₆等摻雜氣體。Zn(C₂H₅)₂氣體與水蒸氣在常溫下會發生反應生成ZnO。因此對于殘留的Zn(C₂H₅)₂氣體和水蒸氣，會在尾氣處理系統的排氣線及干泵中生成白色粉末狀ZnO。排氣線需要定期進行清洗，以防沉積的粉末堵塞管道，維護周期可根據設備保養周期來定。而對于干泵，由于采用爪式結構，葉片之間的間隙非常小，這些ZnO如果沉積在葉片上，就會使葉片之間的間隙越來越小，造成干泵功率的增加，甚至損壞干泵。因此，需要經常性的拆卸及清理干泵內的粉末，這個保養周期比較短，一般視生產情況在1個月左右，由此會造成生產線的停產，對生產造成影響，降低生產線產能。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題就是提供一種可以降低尾氣對干泵的威脅，大大延長干泵的維護周期，提高生產線產能的熱阱。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：包括帶有進氣口、出氣口和上蓋的殼體，所述的殼體內設置有與上蓋相連接的加熱管，加熱管內設置有加熱絲和熱電偶，加熱管外設置有葉片。

其附加技術特征為：所述的加熱管為三個；所述的葉片上下多層，各層葉片通過與上蓋相連接的固定桿相連接；所述的殼體包括內層和外層，外層為網狀。

本實用新型所提供的一種熱阱使用時，將其出氣口與干泵相連接，用加熱絲、熱電偶對加熱管進行加熱和控溫，加熱管將與之焊接在一起的葉片加熱。當廢氣從熱阱殼體底部的進氣口通入后，氣體會與高溫的葉片充分接觸，殘留的Zn(C₂H₅)₂氣體與水蒸氣會在葉片處充分反應生成白色粉末狀ZnO，剩余氣體由出氣口進入干泵，此時進入干泵的氣體相對較為清潔，不含Zn(C₂H₅)₂氣體與水蒸氣，使干泵內的旋轉葉片不會發生堵塞而損害干泵。加熱管可為三個。葉片上下多層，各層葉片通過與上蓋相連接的固定桿相連接，使得上蓋、加熱管、葉片成為一體，熱阱使用一段時間后，可整體將上蓋、加熱管、葉片從殼體中取出進行清理，非常方便。因為熱阱為高溫設備，因此殼體包括內層和外層，外層為網狀，可防止人體接觸到內層殼體而燙傷。

附圖說明

圖1為本實用新型一種熱阱的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型所提供的一種熱阱的具體結構和使用原理做進一步詳細說明。

如圖1所示，本實用新型所提供的一種熱阱包括殼體1，殼體1帶有進氣口2、出氣口3和上蓋4，殼體1內設置有與上蓋4相連接的加熱管5，加熱管5內設置有加熱絲6和熱電偶7，加熱管5外設置有葉片8，加熱管5可為如圖的三個，葉片8可為如圖的上下三層，各層葉片8通過與上蓋4相連接的固定桿9相連接，殼體1包括內層10和外層11，外層11為網狀。

本實用新型所提供的一種熱阱使用時，將其出氣口3與干泵相連接，用加熱絲6、熱電偶7對加熱管5進行加熱和控溫，加熱管5將與之焊接在一起的葉片8加熱。當廢氣從熱阱殼體1底部的進氣口2通入后，氣體會與高溫的葉片8充分接觸，殘留的Zn(C₂H₅)₂氣體與水蒸氣會在葉片8處充分反應生成白色粉末狀ZnO，剩余氣體由出氣口3進入干泵，此時進入干泵的氣體相對較為清潔，不含Zn(C₂H₅)₂氣體與水蒸氣，使干泵內的旋轉葉片不會發生堵塞而損害干泵。加熱管5可為三個。葉片8上下多層，各層葉片8通過與上蓋4相連接的固定桿9相連接，使得上蓋4、加熱管5、葉片8成為一體，熱阱使用一段時間后，可整體將上蓋4、加熱管5、葉片8從殼體1中取出進行清理，非常方便。因為熱阱為高溫設備，因此殼體1包括內層10和外層11，外層11為網狀，可防止人體接觸到內層殼體而燙傷。