[實用新型]冷凝裝置以及酸槽系統

有效

• 申請號: 201020679276.4
• 申請日: 2010-12-24
• 公開（公告）號: CN201959582U
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 彭利;肖方
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B01D5/00
• 分類號: B01D5/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體工藝，尤其涉及一種冷凝裝置以及包含所述冷凝裝置的酸槽系統。

背景技術

在對晶圓表面進行濕法刻蝕工藝時，需要用到酸槽，將晶圓放入盛有刻蝕液的酸槽中浸沒一段特定的時間，酸槽可加熱到需要的溫度。在利用酸槽進行濕法刻蝕時，根據刻蝕工藝的不同要求需要使用各種化學溶液，有些化學溶液具有很大的揮發性，特別當酸槽加熱到較高的溫度時，酸槽環境中酸霧很大，對工藝條件造成影響，并且容易腐蝕其它部件。

為了解決由酸槽內的溶液產生酸霧的影響，需要將酸霧排到酸槽環境外。圖1為現有的酸霧系統結構示意圖。參照圖1，在酸槽11上端設有抽風罩12，抽風罩12的一端對準酸槽11，抽風罩12的另一端連接有風管13的一端，酸霧17從風管13的另一端排出，從抽風罩12的一端到風管13的另一端形成通風管路14，在風管13的另一端端口處設置有風機15，所述風機15用來產生負壓將酸霧17抽離酸槽設備。然而在酸霧17抽離過程中溫度較高的酸霧17遇到冷的風管13，會在風管13內壁冷凝成液滴而逐漸積累起酸液16，最后酸液16聚集到風管13的彎角和較低位置處。隨著酸液16的不斷增多，會使有酸液16聚集的通風管路14處的風壓變小，進而導致酸霧17不能及時從風管13的另一端排出，延長了酸霧17在風管13中存留的時間，最終導致酸霧17不能及時排出，對工藝條件產生不良影響，并會腐蝕酸槽設備的部件。

為了解決上述風壓變小所導致的酸霧17不能及時排出的問題，目前，業界嘗試在風管13彎角或較低位置處安裝排酸管，將冷凝后積累的酸液通過排酸管排出，使通風管路14的風壓有所恢復，例如，使風壓由最初的酸液積累時的40KP提高到120KP，甚至超過120KP，而由于風壓的恢復，又使得酸液在風管13的彎角或較低位置處積累的幾率變小。然而對于整個酸霧系統而言在風管13的彎角或較低位置處安裝排酸管僅僅只能恢復風管13的抽排能力，卻不能增強風管13的抽排能力。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種冷凝裝置以及使用冷凝裝置的酸槽系統，以解決如何增強風管抽排能力的問題。

為解決上述問題，本實用新型提出了一種冷凝裝置，固定在風管的外壁，所述冷凝裝置包括：內層套管和外層套管，所述內層套管緊貼所述風管的外壁，所述外層套管套設在所述內層套管外，所述外層套管與內層套管之間設置有制冷物質。

優選地，在所述冷凝裝置中，所述冷凝裝置還包括進管和出管，所述進管與外層套管的一端連接，所述出管與外層套管的另一端連接。

優選地，在所述冷凝裝置中，所述內層套管和外層套管均呈螺旋狀。

優選地，在所述冷凝裝置中，所述內層套管和外層套管均呈“U”形。

優選地，在所述冷凝裝置中，所述制冷物質是水或冷空氣。

本實用新型還提出了一種使用冷凝裝置的酸槽系統，包括酸槽、抽風罩、風管以及冷凝裝置，所述抽風罩的一端對準酸槽，所述抽風罩的另一端與所述風管連接，所述冷凝裝置包括：內層套管和外層套管，所述內層套管緊貼所述風管的外壁，所述外層套管套設在所述內層套管外，所述外層套管與內層套管之間設置有制冷物質。

優選地，在所述使用冷凝裝置的酸槽系統中，所述酸槽系統還包括與所述風管連接的排液管道。

優選地，在所述使用冷凝裝置的酸槽系統中，所述酸槽系統還包括設置在所述排液管道上的排液閥。

優選地，在所述使用冷凝裝置的酸槽系統中，所述酸槽系統還包括與所述風管連接的風機。

與現有技術相比，本實用新型提供的冷凝裝置包括內層套管和外層套管，通過所述外層套管與內層套管之間設置有制冷物質，降低風管壁的溫度，依靠冷凝裝置中的制冷物質控制風管壁的溫度，進一步控制風管通路內的環境溫度。本實用新型提供的酸槽系統，在酸霧通過風管時就將酸霧中的水蒸氣最大限度地與酸氣進行分離，以酸液的形式從排液管道排出，避免酸霧在風管中凝結，大大增強風管抽排酸霧能力的問題。

附圖說明

圖1為現有的酸霧系統結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例的冷凝裝置的結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例的酸槽系統的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的冷凝裝置以及使用冷凝裝置的酸槽系統作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。