[實用新型]一種晶棒角度測量臺無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020677598.5 | 申請日： | 2010-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN202041483U | 公開（公告）日： | 2011-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王樹林;宋志鵬;張偉展;楊志杰;周波;劉春春 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇大學(xué) |
| 主分類號： | G01N23/20 | 分類號： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務(wù)所 32207 | 代理人： | 汪旭東 |
| 地址： | 212013 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 角度 測量 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種晶棒角度測量臺,?包括晶棒擋板（1），晶棒支撐板（3），底部支座（4），其特征在于：所述晶棒擋板（1）為長度150-155mm、寬度70-75mm、高10-12mm的方板，晶棒擋板（1）在中部開有楔形方空的方板；楔形方孔下邊離晶棒擋板下底邊40mm，方孔長為10?mm、寬為10mm，并且在方孔延平板長度方向開有楔形面；晶棒支撐板（3）的上沿與楔形方孔下邊在同一高度。
2.如權(quán)利要求1的晶棒角度測量臺，其特征在于：所述晶棒擋板（1）通過螺栓與底部支座（4）聯(lián)接；晶棒擋板（1）與晶棒支承板（3）通過螺栓連接。
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