[實用新型]一種基板玻璃厚度在線測量儀

無效

• 申請號: 201020673432.6
• 申請日: 2010-12-22
• 公開（公告）號: CN201955067U
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 趙小力;談軍;李健鵬
• 申請（專利權）人: 洛陽同邦自動化設備有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及測量儀，尤其是一種基板玻璃厚度在線測量儀。

背景技術

目前，TFT-LCD液晶顯示器用基板玻璃是新一代各種液晶平板顯示器件(面板)的關鍵基礎材料，此關鍵基礎材料過去一直由國外幾家大型玻璃廠商壟斷技術和市場，并對中國施行技術封鎖。近一兩年，國內相關廠家通過自主研發創新，打破國外的技術封鎖，在基板玻璃的生產工藝、設備配套等方面開始形成自主的產業鏈條，使TFT-LCD液晶顯示器用基板玻璃有了自主的民族產業。

由于基板玻璃是國內的新興產業，所有配套的設備多數是按照此行業的國內自主工藝技術的特殊性而有針對性研制開發的。TFT-LCD基板玻璃生產線厚度在線測量儀就是這樣一類新研制開發的設備。是根據國內自主工藝技術特點，適應國內自主生產工藝，在設備的結構組成、工作方式均有自己的原創性。

據資料查證，TFT-LCD基板玻璃生產線厚度在線測量，在國外只有美國康寧和日本的西山不銹株式會社有相關設備的資料記錄，但這兩家公司設備的工作方式和檢測原理均與本設備產品有所不同。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服一般激光測量探頭的使用受到其檢測原理的限制，在使用方式、安裝方式、被測目標的位置都受到局限，提供一種基板玻璃厚度在線測量儀，確保激光三角測量方式在基板玻璃在線測量的實現、并能達到μm級的檢測精度，從而滿足對產品的表面質量、光學特性、厚度公差、平整度、應力指標的要求；同時對MCV連續輸送線上的每一片基板玻璃進行在線厚度測量，并將測量數據通過計算機網絡實時發送至前工程成型控制工段，以幫助成型工段的成型質量控制，及時調整各相關控制參數穩定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。

本實用新型為了實現上述目的，采用如下的技術方案：一種基板玻璃厚度在線測量儀，是由：測厚儀框架，測厚儀主控制柜，顯示器，工控機主機，鍵盤鼠標，狀態指示燈，操作按鈕，MCV運載小車，被測基板玻璃，基板穩定夾持裝置，激光測量裝置，激光探頭安裝及調節裝置，激光探頭運動裝置，測厚儀可調節防震地腳，BOD工段MCV輸送線構成；測厚儀框架一側設置測厚儀主控制柜，測厚儀主控制柜上部設置顯示器，顯示器上方設置狀態指示燈，顯示器兩側設置操作按鈕，顯示器下方設置工控機主機，工控機主機下方設置鍵盤鼠標；測厚儀框架后上方設置BOD工段MCV輸送線，BOD工段MCV輸送線頂部的一側設置MCV運載小車，MCV運載小車下端豎向設置被測基板玻璃，被測基板玻璃下端的一側設置基板穩定夾持裝置在測厚儀框架的后部，基板穩定夾持裝置內側設置激光測量裝置，激光測量裝置內側設置激光探頭安裝及調節裝置，激光探頭安裝及調節裝置下端設置激光探頭運動裝置；測厚儀框架底部設置測厚儀可調節防震地腳。

本實用新型的工作原理是：一種基板玻璃厚度在線測量儀安裝在TFT-LCD基板玻璃生產線的BOD工段，具體位于MCV輸送線的基板玻璃重量檢測工位與VGC縱切機之間。厚度檢測工位與MCV輸送線平行，測厚儀基價機家架、主控制機柜與被測玻璃基板平行放置。

當玻璃基板重量檢測完成輸送至厚度檢測工位，測厚儀與MCV輸送控制系統連鎖控制，使玻璃基板準確停車定位在厚度測量工位并發出定位完成信號至測厚儀控制柜，測厚儀在接到測量準備就緒信號后啟動玻璃穩定夾持機構對玻璃基板的非品質區進行夾持穩定。根據玻璃基板的成型質量好壞(翹曲平整度)可選擇點接觸夾持機構和面接觸夾持機構，即最大限度的減少與玻璃基板的接觸面積，又可滿足激光探頭要求的檢測范圍指標，提高檢測的可靠性和檢測精度。

當玻璃基板在測厚工位被夾持機構穩定定位后，測厚儀控制系統控制激光探頭的驅動機構帶動激光探頭沿被測玻璃基板的品質區一水平方向掃描運動，同時計算機控制激光探頭打開檢測激光并以設定的間距采集厚度測量信號送至計算機分析處理，激光探頭沿設定距離掃描檢測結束后，夾持機構打開被測玻璃基板同時向MCV控制系統發出信號將玻璃基板送出厚度檢測工位結束厚度檢測。