[實(shí)用新型]一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020666572.0
• 申請(qǐng)日: 2010-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN201908129U
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李云峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/00
• 分類號(hào): C23C16/00;B08B5/00
• 代理公司: 廣州市深研專利事務(wù)所 44229
• 代理人: 陳雅平

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及平板式等離子鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體的是涉及一種去除平板式等離子鍍膜設(shè)備灰塵的裝置。

背景技術(shù)

目前，光學(xué)器件，太陽電池及半導(dǎo)體等行業(yè)都需要用到平板式等離子鍍膜設(shè)備，該設(shè)備的工作原理是：在密閉的真空腔體內(nèi)，通入不同的可反應(yīng)的氣體，通過等離子放電發(fā)后激發(fā)氣體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)形成所需要的化合物沉積到需要鍍膜的工件表面。這個(gè)設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)在于能夠大量生產(chǎn)，膜層均勻穩(wěn)定，致密性好。但是目前此設(shè)備都有一個(gè)共性的問題，流水線生產(chǎn)中，在密閉輕體內(nèi)會(huì)沉積較厚的鍍膜成分，形成污染，鍍膜完成后掉落在工件表面，對(duì)于光學(xué)器件或太陽能，半導(dǎo)體等行業(yè)來說，這樣的污染必然影響產(chǎn)品品質(zhì)。并且受流水線生產(chǎn)的限制，沒有足夠的時(shí)間打開真空腔體進(jìn)行清潔維護(hù)或通入腐蝕氣體將不需要的沉積層去除。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)之不足而提供的一種不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理、使用方便，而且能解決等離子鍍膜設(shè)備流水線生產(chǎn)過程中，共性的灰塵沾染問題的平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置。

本實(shí)用新型是采用如下技術(shù)解決方案來實(shí)現(xiàn)上述目的：一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置，設(shè)置在平板式鍍膜設(shè)備的出口處，其特征在于，它包括一垂直于載板移動(dòng)方向的風(fēng)刀，風(fēng)刀設(shè)置在一端密閉的管上，該管外接空氣壓縮機(jī)。

作為上述方案的進(jìn)一步說明，所述管的側(cè)面設(shè)置吹風(fēng)口以吹除灰塵并按設(shè)計(jì)方向移動(dòng)，載板的下方風(fēng)刀吹掃方向的延長(zhǎng)線上設(shè)置吸塵口，吸塵口上安裝吸塵器。

所述吸塵器采用負(fù)壓吸塵裝置。

所述風(fēng)刀的吹掃方向與載板平面呈30-60度夾角。

所述載板外側(cè)設(shè)置有位置傳感器，該位置傳感器控制空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣電磁閥門開閉。

本實(shí)用新型采用上述技術(shù)解決方案所能達(dá)到的有益效果是：

本實(shí)用新型采用在平板式鍍膜設(shè)備的出口處，增加一個(gè)垂直于載板移動(dòng)方向的風(fēng)刀，該風(fēng)刀的原理是在一端密閉的管上，在特定方向上開口，通入壓縮空氣后，氣體從管的側(cè)面吹出，以吹除灰塵并按設(shè)計(jì)方向移動(dòng)，掉落在與之配合的吸塵口處，由吸塵器吸走。此方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝置可在載板運(yùn)行到出料口時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)，有效的去除鍍膜工件表面灰塵，并且在流水線生產(chǎn)過程中，不增加額外的手動(dòng)操作和影響節(jié)拍時(shí)間。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖標(biāo)記說明：1、平板式鍍膜設(shè)備??2、載板??3、風(fēng)刀??4、吸塵器?。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置，設(shè)置在平板式鍍膜設(shè)備1的出口處，它包括一垂直于載板2移動(dòng)方向的風(fēng)刀3，風(fēng)刀3設(shè)置在一端密閉的管上，該管外接空氣壓縮機(jī)。管的側(cè)面設(shè)置吹風(fēng)口以吹除灰塵并按設(shè)計(jì)方向移動(dòng)，風(fēng)刀吹掃方向的延長(zhǎng)線上設(shè)置吸塵口，吸塵口上安裝吸塵器4。吸塵器一般采用負(fù)壓吸塵裝置。風(fēng)刀的吹掃方向與載板平面呈30-60度夾角。載板外側(cè)設(shè)置有位置傳感器，該位置傳感器控制空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣電磁閥門開閉。

使用過程中，載板運(yùn)行到出料口時(shí)，被位置傳感器感應(yīng)到，控制壓縮空氣電磁閥門打開，壓縮空氣從風(fēng)刀口吹出，對(duì)鍍膜后的物件進(jìn)行吹掃，配合安裝在載板下方的吸塵裝置將吹下的灰塵吸走，以達(dá)到去除回程的效果。

以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。