[實用新型]擴散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020666034.1 | 申請日： | 2010-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN201908156U | 公開（公告）日： | 2011-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 崔慧敏;陳加朋 | 申請（專利權(quán)）人： | 青島賽瑞達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/18 | 分類號： | C30B31/18 |
| 代理公司： | 山東清泰律師事務(wù)所 37222 | 代理人： | 寧燕 |
| 地址： | 266000 山東省青島市高*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 擴散 尾氣 壓力 平衡 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.?一種擴散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于它主要包括真空反應(yīng)室、壓力傳感器、信號線、PLC控制器、電磁閥、電磁閥后端管道、真空泵、電磁閥前端管道；其中真空反應(yīng)室與電磁閥前端管道相連，電磁閥設(shè)置在電磁閥前端管道與電磁閥后端管道之間，電磁閥后端管道與真空泵相連；壓力傳感器設(shè)置在電磁閥前端管道上，壓力傳感器通過信號線與PLC控制器相連，PLC控制器通過信號線與電磁閥相連。
2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴散爐尾氣壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于所述電磁閥為蝶閥。
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