[實用新型]納米級微位移光杠桿激光測量系統

無效

• 申請號: 201020665719.4
• 申請日: 2010-12-17
• 公開（公告）號: CN201903326U
• 公開（公告）日: 2011-07-20
• 發明（設計）人: 劉曉旻;李蘇貴
• 申請（專利權）人: 劉曉旻;李蘇貴
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 霍彥偉;李想

1.一種納米級微位移光杠桿激光測量系統，它由彈簧-質量塊-阻尼系統、位移檢測系統和電控和信號處理系統組成，其特征在于：所述的彈簧-質量塊-阻尼系統包括由矩形鋼片構成的懸臂梁（1），懸臂梁（1）一端連接質量塊（2），所述的質量塊上粘結平面鏡A（3）；所述的位移檢測系統包括光源（4）、光杠桿和光電探測器（6），所述的光杠桿由兩個等長的平行設置的平面鏡A（3）和平面鏡A＇（5）組成，平面鏡A＇（5）固定在二維調節支架（7）上。

2.根據權利要求1所述的納米級微位移光杠桿激光測量系統，其特征在于：所述的質量塊為鋁塊。

3.根據權利要求1所述的納米級微位移光杠桿激光測量系統，其特征在于：所述的光電探測器（6）采用半導體光電位置敏感器件。

4.根據權利要求1所述的納米級微位移光杠桿激光測量系統，其特征在于：所述的二維調節支架（7）包括底板（8），底板（8）上設置L型契型支架（9）和契型支架（15）；所述L型契型支架（9）的底邊上設置頂絲（11），頂絲（11）的另一端連接契型支架（15）；所述L型契型支架（9）的楔形邊上設置梯形滑軌（14），契型支架（15）滑動設置在梯形滑軌（14）中。