[實用新型]單晶爐波紋管道清潔器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020663619.8
• 申請日: 2010-12-16
• 公開（公告）號: CN201900121U
• 公開（公告）日: 2011-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳鵬;王存;游利;楊廣宇
• 申請（專利權(quán)）人: 錦州陽光能源有限公司
• 主分類號: B08B9/035
• 分類號: B08B9/035;C30B35/00
• 代理公司: 錦州遼西專利事務(wù)所 21225
• 代理人: 李輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型特別涉及一種在單晶硅生產(chǎn)過程中使用的單晶爐波紋管道清潔器。

背景技術(shù)

在使用單晶爐制備單晶硅的時候，每一次生產(chǎn)爐內(nèi)都會產(chǎn)生揮發(fā)物和一些雜質(zhì)附著到爐體內(nèi)壁上，裝料時有些雜質(zhì)會掉到爐內(nèi)。如果內(nèi)部有雜質(zhì)，一來拉晶的環(huán)境純度不高，容易造成拉晶環(huán)節(jié)效率低下，二來雜物有可能影響到機械結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致生產(chǎn)無法繼續(xù)，造成不必要的浪費。因此仔細清理爐室是很重要的一環(huán)，其中最難清理的是位于爐室內(nèi)的波紋管。由于波紋管內(nèi)部是坩堝軸，利用波紋管的伸縮性，可以使坩堝實現(xiàn)上下隨動，也保持其內(nèi)部的真空狀態(tài)。波紋管和坩堝軸之間縫隙很小，一般的清潔工具難以清理。傳統(tǒng)的清潔方法是從下面拆下固定螺栓，進行清理，這樣的清潔方式不僅耽誤時間，影響工作效率，而且經(jīng)常拆卸固定螺栓會帶來安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是要提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，能夠徹底清理爐內(nèi)波紋管內(nèi)的雜物，清理速度快，工作效率高的單晶爐波紋管道清潔器。

本實用新型是這樣實現(xiàn)的：它有一個管體，在管體下部設(shè)有橫截面為橢圓形的橢圓形管段，橢圓形管段橫截面的短軸長度小于波紋管道和坩堝軸之間的最短距離，橢圓形管段的長度大于波紋管道的長度，在管體上端口內(nèi)設(shè)有密封膠條。

本實用新型的優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，使用時將管體上端與吸塵器插接，將管體下部插入到波紋管道內(nèi)，便可徹底清理單晶爐波紋管道內(nèi)的雜物，清理速度快，工作效率高，而且不會帶來任何安全隱患。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的A-A剖視放大圖。

具體實施方式

如圖1和圖2所示，該單晶爐波紋管道清潔器有一個管體1，管體1上部為圓管形，在管體1下部設(shè)有橫截面為橢圓形的橢圓形管段101，所述的橢圓形管段101橫截面的短軸長度小于波紋管道和坩堝軸之間的最短距離，橢圓形管段101的長度大于波紋管道的長度。在管體1上端口內(nèi)設(shè)有密封膠條2，以保證使用時的密封性。

使用時，將管體1上端與吸塵器插接，將管體1下部插入到波紋管道內(nèi)，便可徹底清理單晶爐波紋管道內(nèi)的雜物。