[實用新型]一種異形石英坩堝無效
| 申請號: | 201020659114.4 | 申請日: | 2010-12-14 |
| 公開(公告)號: | CN201908154U | 公開(公告)日: | 2011-07-27 |
| 發明(設計)人: | 唐修亮;丁榮勇;姜丹鋒 | 申請(專利權)人: | 維蘇威太陽能坩堝(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/10 | 分類號: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人: | 陸明耀;陳忠輝 |
| 地址: | 215021 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 異形 石英 坩堝 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種石英坩堝,尤其涉及一種異形石英坩堝。
背景技術
隨著科技的進步,市場對單晶硅的品質要求有著具體細化到對硅片的品質要求,而坩堝的品質就會直接影響到單晶硅的品質。現有技術中,一般都是為圓底的石英坩堝,在收尾時,液態長晶硅料在圓形坩堝底部剩余料較多,造成一定程度的浪費。于是,有人生產出了四邊形的坩堝,一定程度上解決了鍋底余料的浪費,但是,這對模具的要求甚高,且單面面積較大,收縮率也較大,對加熱板的要求較高,不易控制。
實用新型內容
本實用新型的目的在于解決上述的技術問題,提供一種異形石英坩堝。
本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:
一種異形石英坩堝,包括鍋壁和鍋底,所述鍋壁和鍋底為一整體,鍋底為平面形,所述鍋壁的橫截面為正多邊形。
進一步地,以上所述的一種異形石英坩堝,所述鍋壁的橫截面為正六邊形或正八邊形中的一種。
本實用新型的有益效果主要體現在:由于采用六邊形的設計,相同的容量相對于四邊形單面面積變小,對石膏模具的收縮率要求降低,同時也由于單面面積的縮小,對坯體含水率的要求也相對降低,且對加熱板的收縮率要求降低,提高了熱轉換率。
附圖說明
下面結合附圖對本實用新型技術方案作進一步說明:
圖1:本實用新型的正六邊形坩堝的鍋壁橫截面示意圖。
圖2:本實用新型的正八邊形坩堝的鍋壁橫截面示意圖。
圖3:本實用新型石英坩堝的結構圖
其中:
1、鍋壁2、鍋底
具體實施方式
本實用新型揭示了一種異形石英坩堝,包括鍋壁1和鍋底2,鍋壁1和鍋底2為一整體,鍋底2為平面形,鍋壁1橫截面為正多邊形。如圖1所示,異形石英坩堝的鍋壁1橫截面為正六邊形,如圖2所示,鍋壁1橫截面也可為正八邊形。
由于坩堝中得到的單晶硅在使用時還需要進行一定的分切,為了不造成材料的浪費,且使得更容易分配切割,本實用新型采用的正多邊形,其邊數為雙數,不采用單數邊,而如果采用正八邊形以上的正多邊形,使得坩堝的制造工藝繁瑣,單面面積再小反而不能滿足實用的要求。
該坩堝是用石英材料通過注漿燒結得到,先將原料石英材料投入造粒設備中濕法造粒,再將漿料充分攪拌放置后倒入壓力裝置,注入石膏模具,脫水脫模,最后干燥燒結,得到坩堝。
本實用新型與現有技術相比具有以下優點:由于采用六邊形的設計,相同的容量相對于四邊形單面面積變小,對石膏模具的收縮率要求降低,同時也由于單面面積的縮小,對坯體含水率的要求也相對降低,且對加熱板的收縮率要求降低,提高了熱轉換率。
本實用新型尚有多種具體的實施方式,凡采用等同替換或者等效變換而形成的所有技術方案,均落在本實用新型要求保護的范圍之內。
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