[實用新型]質量流量控制器傳感器老化測試裝置有效
| 申請號： | 201020655032.2 | 申請日： | 2010-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN201867459U | 公開（公告）日： | 2011-06-15 |
| 發明（設計）人： | 楊雪飛;陳遠謀 | 申請（專利權）人： | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260 | 代理人： | 鄭立明;趙鎮勇 |
| 地址： | 100016 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 質量 流量 控制器 傳感器 老化 測試 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種質量流量控制器傳感器老化測試裝置，包括老化臺盒體，其特征在于，所述老化臺盒體的上部設有傳感器承放板，所述老化臺盒體的兩側上緣分別設有多個測試電路板，所述老化臺盒體內設有電源模塊。
2.根據權利要求1所述的質量流量控制器傳感器老化測試裝置，其特征在于，所述老化臺盒體的兩側上緣分別設有2-10個測試電路板。
3.根據權利要求2所述的質量流量控制器傳感器老化測試裝置，其特征在于，所述老化臺盒體的兩側上緣分別設有5個測試電路板。
4.根據權利要求1、2或3所述的質量流量控制器傳感器老化測試裝置，其特征在于，所述老化臺盒體的兩側上緣分別設有電路板支撐架，所述測試電路板通過支柱安裝在所述電路板支撐架上。
5.根據權利要求1、2或3所述的質量流量控制器傳感器老化測試裝置，其特征在于，所述老化臺盒體的兩端上緣分別設有防側滑擋板。
6.根據權利要求1、2或3所述的質量流量控制器傳感器老化測試裝置，其特征在于，所述老化臺盒體還設有外部電源線。
7.根據權利要求1、2或3所述的質量流量控制器傳感器老化測試裝置，其特征在于，所述老化臺盒體采用1Cr18Ni9Ti材料。
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