[實用新型]用于干式羅茨真空泵機(jī)組性能檢測過程的控制系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020644628.2
• 申請日: 2010-12-06
• 公開（公告）號: CN201925167U
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王光玉;張振厚;孔祥玲;薛玉茹
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04C28/00
• 分類號: F04C28/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空領(lǐng)域，具體涉及用于干式羅茨真空泵機(jī)組性能檢測過程的控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

干式羅茨真空泵機(jī)組作為一種主要的真空設(shè)備已廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，并且因其具有潔凈無油、維護(hù)周期長等優(yōu)勢，在半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)都有很好的應(yīng)用前景。

干式羅茨真空泵機(jī)組的主要性能參數(shù)包括極限壓力、抽速和工作溫度，通常在產(chǎn)品的形式檢驗中必須進(jìn)行這些參數(shù)的檢測，而目前的檢測過程均為人工操作，測量量具分散，且均由人工讀取并記錄、計算，過程繁瑣。因此需要建立過程控制系統(tǒng)，將檢測過程數(shù)據(jù)進(jìn)行采集或控制，并通過電腦操作得出所需結(jié)果，這對于批量產(chǎn)品的檢測非常必要。

實用新型內(nèi)容

為解決上述存在的問題，本新型提供一種具有多路參數(shù)監(jiān)測與控制的用于干式羅茨真空泵機(jī)組性能檢測過程的控制系統(tǒng)。

為實現(xiàn)發(fā)明目的，本新型采取如下技術(shù)手段：

用于干式羅茨真空泵機(jī)組性能檢測過程的控制系統(tǒng)包括PLC控制器、上位計算機(jī)、模擬量數(shù)據(jù)采集模塊、溫度采集模塊、RS232/485通訊轉(zhuǎn)換模塊；其中PLC控制器與上位計算機(jī)通過RS232通訊轉(zhuǎn)換模塊連接通訊，其輸出端與真空泵機(jī)組連接；與泵機(jī)組連接的多路流量傳感器采集的進(jìn)氣流量值經(jīng)模擬量數(shù)據(jù)采集模塊輸出為數(shù)據(jù)模擬量，再通過RS?485通訊轉(zhuǎn)換模塊接至上位計算機(jī)，與泵機(jī)組連接的真空計采集的極限壓力值經(jīng)通訊轉(zhuǎn)換模塊將輸出的模擬量值接至上位計算機(jī)，與泵機(jī)組連接的多路溫度傳感器采集泵表面或內(nèi)部溫度，經(jīng)溫度采集模塊輸出的溫度模擬量再通過RS?485通訊轉(zhuǎn)換模塊接至上位計算機(jī)機(jī)，實現(xiàn)上位計算機(jī)對真空泵機(jī)組性能檢測。

溫度采集模塊配置多路溫度傳感器，可實現(xiàn)泵機(jī)組多個測量點的溫度實時測量。

模擬量數(shù)據(jù)采集模塊配置多路流量傳感器，可實現(xiàn)多路流量傳感器的控制測量，和不同量程范圍內(nèi)流量傳感器的選擇。

與現(xiàn)有技術(shù)相比本實用新型有益效果如下：

1.該控制系統(tǒng)設(shè)有多路模擬量輸入檢測，利用溫度采集模塊采集的真空泵機(jī)組的多個溫度參數(shù)，實現(xiàn)實時監(jiān)控真空泵的工作溫度。

2.該控制系統(tǒng)有多路開關(guān)量輸入輸出控制，利用PLC控制器監(jiān)測與控制真空泵電機(jī)、冷卻水閥、進(jìn)氣閥的狀態(tài)實現(xiàn)閉環(huán)控制。

3.該控制系統(tǒng)有多路模擬量輸出控制，利用模擬量采集模塊控制真空泵進(jìn)氣量的數(shù)值，實時控制真空泵的進(jìn)氣流量。

4.該控制系統(tǒng)具有監(jiān)測電路與計算機(jī)通訊功能，實現(xiàn)了計算機(jī)對泵機(jī)組的實時控制，數(shù)據(jù)實時監(jiān)測、數(shù)據(jù)庫存儲和計算，最終可以自動得到泵機(jī)組工作溫度、極限壓力、抽速這三個主要性能參數(shù)。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)圖；

圖2控制系統(tǒng)運(yùn)行流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

參見圖1，本實用新型有工業(yè)控制的上位計算機(jī)、232/485通訊模塊、PLC控制器、模擬量數(shù)據(jù)采集模塊、溫度采集模塊、溫度傳感器、流量傳感器及真空計。上位計算機(jī)通過對多個模塊、設(shè)備的數(shù)據(jù)監(jiān)控，實現(xiàn)對泵機(jī)組的多檢測點溫度的連續(xù)測量與數(shù)據(jù)庫存儲，入口壓力的連續(xù)測量與數(shù)據(jù)庫存儲，入口氮氣流量的連續(xù)測量與數(shù)據(jù)庫存儲，通過溫度分析、入口壓力分析，分段抽速計算，最終得到泵機(jī)組的工作溫度、極限壓力、抽速三個性能參數(shù)值。

其中PLC控制器與上位計算機(jī)通過RS232通訊轉(zhuǎn)換模塊連接通訊，其輸入、輸出端與真空泵機(jī)組連接；與泵機(jī)組連接的多路流量傳感器采集的進(jìn)氣流量值經(jīng)模擬量數(shù)據(jù)采集模塊輸出為數(shù)據(jù)模擬量，再通過RS?485通訊轉(zhuǎn)換模塊接至上位計算機(jī)，與泵機(jī)組連接的真空計采集的極限壓力值經(jīng)通訊轉(zhuǎn)換模塊將輸出的模擬量值接至上位計算機(jī)，與泵機(jī)組連接的多路溫度傳感器采集泵表面或內(nèi)部溫度，經(jīng)溫度采集模塊輸出的溫度模擬量再通過RS?485通訊轉(zhuǎn)換模塊接至上位計算機(jī)機(jī)，實現(xiàn)對泵機(jī)組的實時控制，數(shù)據(jù)實時監(jiān)測、存儲和計算。

模擬量數(shù)據(jù)采集模塊配置多路流量傳感器，可選擇1～8路流量傳感器用于控制并反饋通過泵機(jī)組的多路氮氣流量控制信號，該控制信號由模擬量數(shù)據(jù)采模塊輸入/輸出，該控制信號最終由模擬量數(shù)據(jù)采集模塊通過232/485通訊模塊傳送給工業(yè)控制上位計算機(jī)進(jìn)行統(tǒng)一監(jiān)控。真空計檢測到的泵真空度信號，直接通過232/485通訊模塊傳送給上位計算機(jī)。