[實用新型]掩膜版有效
| 申請號: | 201020636483.1 | 申請日: | 2010-11-26 |
| 公開(公告)號: | CN201867584U | 公開(公告)日: | 2011-06-15 |
| 發明(設計)人: | 邱云;林準煥 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/00 | 分類號: | G03F1/00;G02F1/1362;G02F1/1337;G02F1/1335 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 劉芳 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 掩膜版 | ||
1.一種掩膜版,其特征在于,包括:
對盒設置的第一基板和第二基板;
所述第一基板下方設有陣列像素單元,每個所述像素單元包括一個薄膜晶體管TFT;
所述第二基板上方設有透明導電層;
所述透明導電層和所述陣列像素單元之間填充液晶;
所述透明導電層和所述陣列像素單元表面分別設有配向膜層,用于使液晶分子沿所述配向膜層表面的取向槽排列;
所述第一基板上方設有第一偏光器件;
所述第二基板下方設有第二偏光器件;
還包括驅動單元,用于向所述陣列像素單元施加等級電壓,以控制所述掩模版的入射光通過強度。
2.根據權利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述第一偏光器件與所述第二偏光器件的吸收軸夾角為80-90度。
3.根據權利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述第一偏光器件與所述第二偏光器件的吸收軸夾角為0-10度。
4.根據權利要求1-3任一項所述的掩膜版,其特征在于,所述第一偏光器件上方設有增亮膜層,用于提高所述掩模版入射光的利用率。
5.根據權利要求4所述的掩膜版,其特征在于,所述第一偏光器件為廣角偏光器件。
6.根據權利要求5所述的掩膜版,其特征在于,所述第二偏光器件為廣角偏光器件。
7.根據權利要求6所述的掩膜版,其特征在于,所述透明導電層為透明銦錫金屬氧化層。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜;其制備,例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準或測試的特殊涂層或標記;其制備





