[實(shí)用新型]擴(kuò)散爐多重溫度控制裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020634420.2 | 申請(qǐng)日： | 2010-11-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201873778U | 公開(kāi)（公告）日： | 2011-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳劍鋒;吳文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B31/00 | 分類號(hào)： | C30B31/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213169 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 擴(kuò)散 多重 溫度 控制 裝置 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種擴(kuò)散爐多重溫度控制裝置，其特征在于：具有溫控?zé)犭娕?1)和檢測(cè)熱電偶(3)，所述的溫控?zé)犭娕?1)插入到擴(kuò)散爐的內(nèi)部，所述的檢測(cè)熱電偶(3)設(shè)置在擴(kuò)散爐的爐壁外表面。
2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐多重溫度控制裝置，其特征在于：所述的溫控?zé)犭娕?1)和檢測(cè)熱電偶(3)上均設(shè)置有3個(gè)溫度設(shè)定點(diǎn)，分別對(duì)擴(kuò)散爐內(nèi)的前、中、后三段區(qū)域進(jìn)行溫度設(shè)定。
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