[實用新型]磷化鍺鋅多晶體的合成裝置無效
| 申請號： | 201020631952.0 | 申請日： | 2010-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN201864565U | 公開（公告）日： | 2011-06-15 |
| 發明（設計）人： | 吳東;王彪;申亮;徐洪遠;王云華 | 申請（專利權）人： | 中山大學 |
| 主分類號： | C01B25/08 | 分類號： | C01B25/08 |
| 代理公司： | 廣州新諾專利商標事務所有限公司 44100 | 代理人： | 張玲春 |
| 地址： | 510275 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磷化 多晶體 合成 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種磷化鍺鋅多晶體的合成裝置，其特征在于其包括：爐腔；設置在爐腔內的氬氣保護室；設置在氬氣保護室內的多晶料密閉內反應室；設置在內反應室內的合成坩堝；所述內反應室的一側底部通過連接管道與冷凝器相連通；所述合成坩堝通過連接管道依次穿過內反應室，氬氣保護室及爐腔與蒸發器相連通。
2.根據權利要求1所述的磷化鍺鋅多晶體的合成裝置，其特征在于：所述蒸發器通過一三通管道與裝有二硫化碳的廢氣處理瓶相連通，該三通管道的縱向管道和橫向管道上分別設置有氣流控制閥，縱向管道上的氣流控制閥的一端設計為氬氣入口。
3.根據權利要求1所述的磷化鍺鋅多晶體的合成裝置，其特征在于：所述冷凝器通過一三通管道與裝有二硫化碳的廢氣處理瓶相連通，該三通管道的縱向管道和橫向管道上分別設置有氣流控制閥，縱向管道上的氣流控制閥的一端設計為氬氣入口。
4.根據權利要求1所述的磷化鍺鋅多晶體的合成裝置，其特征在于：所述爐腔的兩端分別設置有保溫隔熱層，保溫隔熱層的內部設置有高溫密封塞。
5.根據權利要求4所述的磷化鍺鋅多晶體的合成裝置，其特征在于：所述爐腔的材料可選擇Al2O3陶瓷、石墨、石英中的任意一種。
6.根據權利要求4所述的磷化鍺鋅多晶體的合成裝置，其特征在于：所述合成坩堝的材料可選擇使用石墨、石英或PBN坩堝；所述保溫隔熱層的材質為氧化鋯或多孔石墨耐火磚。
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