[實用新型]一種真空鍍膜機

無效

• 申請號: 201020629047.1
• 申請日: 2010-11-26
• 公開（公告）號: CN201890927U
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: 黃瑞安
• 申請（專利權）人: 黃瑞安
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/30
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 廖平

1.?一種真空鍍膜機，包括一具有真空內腔的殼體、連接在所述殼體上的抽真空裝置、以及可在殼體內腔中運行的物料輸送裝置，其特征在于，所述殼體上安裝有旋轉驅動裝置、電極導入裝置，所述物料輸送裝置上設置有與所述旋轉驅動裝置匹配的旋轉接頭，所述殼體內壁設置有電弧蒸發源；所述物料輸送裝置上設置有與所述電極導入裝置匹配的電極觸頭、以及導電架，所述導電架上掛裝有電阻蒸發源。

2.?如權利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述電極導入裝置包括有一個低電壓大電流的電源接頭、以及一個連續可調的偏壓直流電源接頭。

3.?如權利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述殼體底壁內表面沿殼體長度方向設置有滑動導軌，所述物料輸送裝置滑動安裝于所述滑動導軌上。