[實(shí)用新型]晶體硅片激光剝離設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020626792.0
• 申請(qǐng)日: 2010-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN201881054U
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅新紅;余輝;付三望
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢高盛光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/36
• 分類號(hào): B23K26/36;B23K26/04;B23K26/08;H01L31/18
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種晶體硅片激光剝離設(shè)備，它包括控制主機(jī)、激光發(fā)生器、激光輸出系統(tǒng)和工件運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，控制主機(jī)控制激光發(fā)生器產(chǎn)生激光束，該激光束經(jīng)激光輸出系統(tǒng)射至工件運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的表面，其特征在于：所述激光發(fā)生器的輸出端與激光輸出系統(tǒng)的輸入端通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸連接，所述旋轉(zhuǎn)軸為中空結(jié)構(gòu)，激光束從該旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)穿過(guò)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體硅片激光剝離設(shè)備，其特征在于：該設(shè)備還包括電動(dòng)裝置，該電動(dòng)裝置與旋轉(zhuǎn)軸連接，控制旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶體硅片激光剝離設(shè)備，其特征在于：所述電動(dòng)裝置包括電機(jī)和主動(dòng)齒輪，該電機(jī)控制主動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)軸的外周上設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪通過(guò)皮帶連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶體硅片激光剝離設(shè)備，其特征在于：所述從動(dòng)齒輪、主動(dòng)齒輪分別與皮帶通過(guò)齒嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體硅片激光剝離設(shè)備，其特征在于：該設(shè)備還包括加工控制器，所述加工控制器控制工件運(yùn)動(dòng)平臺(tái)作二維運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的一種晶體硅片激光剝離設(shè)備，其特征在于：所述激光輸出系統(tǒng)包括外光路裝置和設(shè)置在外光路裝置下方的聚焦鏡頭，激光發(fā)生器產(chǎn)生的激光束穿過(guò)旋轉(zhuǎn)軸射至外光路裝置，最后經(jīng)聚焦鏡頭聚焦后輸出。