[實用新型]一種籽晶傳動裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020620977.0
• 申請日: 2010-11-24
• 公開（公告）號: CN201933202U
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王宏宇;郭東民;黃曉霞;張國棟;佟輝;呂琪;王堯
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種籽晶傳動裝置。

背景技術(shù)

目前，公知的單晶爐設(shè)備的籽晶桿傳動機構(gòu)功能比較單一，且方法較笨重，比如：a:在稱重機構(gòu)中，因為大氣下的稱重傳感器要測到真空內(nèi)樣品的重量，多采用測量整體機構(gòu)的方法，使得稱重傳感器在量程的選擇上遠遠大于實際樣品的重量；b:為了保證整體機構(gòu)的強度在選材上偏重為碳鋼或不銹鋼，重量加大的同時也不美觀；c:在籽晶桿自轉(zhuǎn)時水、電的連接上多采用軸密封組件來實現(xiàn)，不僅結(jié)構(gòu)變得龐大且在安裝、維修時較不方便；d:在調(diào)整籽晶桿時無法做到微調(diào)且操作也不方便靈活；e:籽晶傳動機構(gòu)在斷電時無法使用。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種籽晶傳動裝置。它整體結(jié)構(gòu)部局合理、緊湊，操作方便。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明包括籽晶軸、水電連接機構(gòu)、稱重機構(gòu)、調(diào)節(jié)平臺、絲杠絲母組件和支撐機構(gòu)，與調(diào)節(jié)平臺固定支架連接的所述絲杠絲母組件設(shè)置在支撐機構(gòu)上，絲杠與第二電機輸出軸連接，還包括有與絲杠連接的輔助驅(qū)動機構(gòu)。

所述的輔助驅(qū)動機構(gòu)包括電磁離合器、電磁失電離合器、手輪及第二傳動機構(gòu)，所述電磁離合器兩端分別連接第二電機輸出軸和絲杠一端，電磁失電離合器通過第二傳動機構(gòu)與絲杠另一端連接，手輪安裝在電磁失電離合器上，電磁失電離合器與電源連接。

所述的第二傳動機構(gòu)包括第三、第四齒型帶輪及兩齒型帶輪間的第二同步帶，所述第四齒型帶輪安裝在電磁失電離合器的輸出軸上，第三齒型帶輪安裝在絲杠上。

所述的水電連接機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)接頭、連接板、固定架、水管及導(dǎo)電滑環(huán)，所述導(dǎo)電滑環(huán)套裝于籽晶軸上，旋轉(zhuǎn)接頭置于導(dǎo)電滑環(huán)上方，且其內(nèi)環(huán)固定在籽晶軸上，旋轉(zhuǎn)接頭和導(dǎo)電滑環(huán)的外環(huán)分別通過連接板固定在固定架上，在旋轉(zhuǎn)接頭和籽晶軸內(nèi)孔內(nèi)置有水管，旋轉(zhuǎn)接頭上的進水口與進水管連接，出水口與出水管連接。

所述的稱重機構(gòu)包括外框、稱重傳感器、支座和膨脹節(jié)組件，所述外框固定在籽晶軸的一端，在籽晶軸上還密封安裝有膨脹節(jié)組件，支座通過多個第三調(diào)節(jié)螺釘安裝在籽晶軸側(cè)面膨脹節(jié)組件的下法蘭上，稱重傳感器分別固定在外框和支座上，工作時，在籽晶軸的另一端連接有樣品。

所述的膨脹節(jié)組件包括膨脹節(jié)和安裝在膨脹節(jié)兩端的上、下法蘭，所述的上法蘭為圓周面上帶有環(huán)形槽的結(jié)構(gòu)，與籽晶軸連接的端面為與其配合的結(jié)構(gòu)。

所述的調(diào)節(jié)平臺包括滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架、X軸調(diào)節(jié)機構(gòu)、Y軸調(diào)節(jié)機構(gòu)、第一滑軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺連接的鎖緊機構(gòu)，所述滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架均帶有內(nèi)孔，并依次套裝于籽晶軸上，滑臺座固定在固定支架上，在滑臺座和滑臺間、滑臺和滑臺板間分別安裝有第一、第二滑軌滑塊組件，滑臺沿滑臺座、滑臺板沿滑臺分別相對滑動，滑臺板與籽晶軸固定連接，在滑臺和滑臺板間的X軸方向上設(shè)有X軸調(diào)節(jié)機構(gòu)，在滑臺和滑臺座的Y軸方向上設(shè)有Y軸調(diào)節(jié)機構(gòu)。

所述的?X?軸調(diào)節(jié)機構(gòu)包括第一微分頭和第一調(diào)節(jié)板，第一微分頭通過固定在滑臺板上的第一調(diào)節(jié)板與滑臺端部連接。所述的?Y?軸調(diào)節(jié)機構(gòu)包括第二微分頭和第二調(diào)節(jié)板，第二微分頭通過固定在滑臺座上的第二調(diào)節(jié)板與滑臺端部連接。所述的鎖緊機構(gòu)包括第一、第二調(diào)節(jié)螺釘，第一調(diào)節(jié)螺釘通過滑臺座連接在滑臺上，第二調(diào)節(jié)螺釘通過滑臺板連接在滑臺上。

所述的支撐機構(gòu)包括鋁型材結(jié)構(gòu)的上支架、下支架、加強筋、支撐柱及內(nèi)嵌條，在所述支撐柱兩端分別固定上、下支架，在上、下支架與支撐柱形成的夾角間分別設(shè)置加強筋，在支撐柱內(nèi)設(shè)有內(nèi)嵌條。

本發(fā)明的有益效果是：

1.本發(fā)明在水電連接機構(gòu)中，采用了導(dǎo)電滑環(huán)及旋轉(zhuǎn)接頭并用的結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)籽晶桿自轉(zhuǎn)時電、水的連接。

2.本發(fā)明在稱重機構(gòu)中采用了膨脹節(jié)密封結(jié)構(gòu)，使稱重傳感器可根據(jù)實際樣品適當選擇量程，使得大氣下的稱重傳感器可精確測量真空內(nèi)樣品的重量。

3.本發(fā)明在籽晶桿的二維精度調(diào)節(jié)功能上，采用了雙導(dǎo)軌及滑塊，使其運動靈活，微分頭的使用不但使其操作更加方便且實現(xiàn)了微調(diào)，精調(diào)。

4.本發(fā)明采用雙離合器的輔助驅(qū)動機構(gòu)，在斷電時可進行手動操作。

5.本發(fā)明整個機構(gòu)的支撐機構(gòu)采用鋁型材機構(gòu)，可有效的減輕重量，且總體美觀。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的左視局部視圖。

圖3為圖1中水電連接機構(gòu)示意圖。

圖4為圖1中稱重機構(gòu)示意圖。

圖5為圖1中調(diào)節(jié)平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為圖1中支撐機構(gòu)示意圖。