[實用新型]用于籽晶傳動裝置的調(diào)節(jié)平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020620976.6
• 申請日: 2010-11-24
• 公開（公告）號: CN201915172U
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王宏宇;郭東民;黃曉霞;張國棟;佟輝;呂琪;王堯
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于籽晶傳動裝置的調(diào)節(jié)平臺。

技術(shù)背景

目前，公知的單晶爐設(shè)備在籽晶桿的精度調(diào)節(jié)功能上，在安裝時調(diào)整對中后，以后基本不再調(diào)節(jié)，如若再調(diào)節(jié)既無法做到時時微調(diào)，也不能在工作狀態(tài)下作出調(diào)整，且操作也不方便靈活。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述存在的技術(shù)問題，解決籽晶軸的精度調(diào)節(jié)的問題，本發(fā)明提供一種用于籽晶傳動裝置的調(diào)節(jié)平臺，它結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明包括滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架、X軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第一滑軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺連接的鎖緊機(jī)構(gòu)，所述滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架均帶有內(nèi)孔，并依次套裝于籽晶軸上，滑臺座固定在固定支架上，在滑臺座和滑臺間、滑臺和滑臺板間分別安裝有第一、第二滑軌滑塊組件，滑臺沿滑臺座、滑臺板沿滑臺分別相對滑動，滑臺板與籽晶軸固定連接，在滑臺和滑臺板間的X軸方向上設(shè)有X軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在滑臺和滑臺座的Y軸方向上設(shè)有Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

所述的X軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一微分頭和第一調(diào)節(jié)板，第一微分頭通過固定在滑臺板上的第一調(diào)節(jié)板與滑臺端部連接。所述的Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第二微分頭和第二調(diào)節(jié)板，第二微分頭通過固定在滑臺座上的第二調(diào)節(jié)板與滑臺端部連接。所述的鎖緊機(jī)構(gòu)包括第一、第二調(diào)節(jié)螺釘，第一調(diào)節(jié)螺釘通過滑臺座連接在滑臺上，第二調(diào)節(jié)螺釘通過滑臺板連接在滑臺上。

本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明在籽晶軸的二維精度調(diào)節(jié)功能上，采用了雙導(dǎo)軌及滑塊，使其運(yùn)動靈活，X軸、Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采用微分頭調(diào)節(jié)，不但使其操作更加方便，且實現(xiàn)了微調(diào)、精調(diào)，使籽晶軸的調(diào)節(jié)精度更佳。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1.籽晶軸，2.滑臺板，3.第一調(diào)節(jié)板，4.第一微分頭，5.滑臺，6.第一滑塊，7.第一線性滑軌，8.滑臺座，9.固定支架，10.第一調(diào)節(jié)螺釘，11.第二調(diào)節(jié)板，12.第二滑塊，13.第二調(diào)節(jié)螺釘，14.第二微分頭，15.第二線性滑軌。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

實施例：如圖1所示，本發(fā)明包括滑臺板2、滑臺5、滑臺座8、固定支架9、X軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第一滑軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺5連接的鎖緊機(jī)構(gòu)，所述滑臺板2、滑臺5、滑臺座8、固定支架9均帶有內(nèi)孔，并依次套裝于籽晶軸1上，滑臺座8固定在固定支架9上，在滑臺座8和滑臺5間、滑臺5和滑臺板2間分別安裝有第一、第二滑軌滑塊組件，即：在滑臺座8和滑臺5同側(cè)分別安裝第一、第二線性滑軌7、15，與其相對滑動的第一、第二滑塊6、12分別安裝在滑臺5和滑臺板2上，使滑臺5沿滑臺座8、滑臺板2沿滑臺5分別相對滑動，滑臺板2與籽晶軸1固定連接，在滑臺5和滑臺板2間的X軸方向上設(shè)有X軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在滑臺5和滑臺座8的Y軸方向上設(shè)有Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

本例所述的X軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一微分頭4和第一調(diào)節(jié)板3，第一微分頭4通過固定在滑臺板2上的第一調(diào)節(jié)板3與滑臺5端部連接。所述的Y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第二微分頭14和第二調(diào)節(jié)板11，第二微分頭14通過固定在滑臺座8上的第二調(diào)節(jié)板11與滑臺5端部連接。所述的鎖緊機(jī)構(gòu)包括第一、第二調(diào)節(jié)螺釘10、13，第一調(diào)節(jié)螺釘10通過滑臺座8連接在滑臺5上，第二調(diào)節(jié)螺釘13通過滑臺板2連接在滑臺5上。

本發(fā)明的工作過程：

本發(fā)明通過調(diào)節(jié)第一調(diào)節(jié)板3處的第一微分頭4，可實現(xiàn)(本發(fā)明)機(jī)構(gòu)X方向的精度調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)第二調(diào)節(jié)板11處的第二微分頭14，可實現(xiàn)機(jī)構(gòu)Y方向的精度調(diào)節(jié)；當(dāng)調(diào)節(jié)完成后，調(diào)節(jié)第一調(diào)節(jié)螺釘10和第二調(diào)節(jié)螺釘13鎖緊滑臺5，將滑臺5及滑臺板2鎖死。