[實用新型]Z軸電容式加速度計有效
| 申請號： | 201020617239.0 | 申請日： | 2010-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN201852852U | 公開（公告）日： | 2011-06-01 |
| 發明（設計）人： | 蔣樂躍;周漢秦 | 申請（專利權）人： | 美新半導體（無錫）有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 無錫互維知識產權代理有限公司 32236 | 代理人： | 王愛偉 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 加速度計 | ||
1.一種Z軸電容式加速度計，其包括電容感應極板、驅動質量塊，所述電容感應極板包括正電容感應極板和負電容感應極板，其特征在于：其還包括有連接梁，所述驅動質量塊和電容感應極板相互分離，正電容感應極板和負電容感應極板分別位于驅動質量塊的兩側；當驅動質量塊轉動時，所述電容感應極板通過所述連接梁隨之轉動。
2.根據權利要求1所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述電容感應極板具有第一轉動軸，所述驅動質量塊具有第二轉動軸，所述第一轉動軸和第二轉動軸相互平行。
3.根據權利要求2所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述正電容感應極板和負電容感應極板相對于所述第一轉動軸對稱。
4.根據權利要求2所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述第二轉動軸設置在所述驅動質量塊的一個側邊。
5.根據權利要求2所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述驅動質量塊相對于所述第一轉動軸對稱。
6.根據權利要求2所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述連接梁與所述第一轉動軸和第二轉動軸平行。
7.根據權利要求2所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述第一轉動軸包括上第一轉動軸、下第一轉動軸，以及連接所述上第一轉動軸和下第一轉動軸的第一錨點，所述上第一轉動軸和下第一轉動軸具有相同長度。
8.根據權利要求2所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述第二轉動軸包括上第二轉動軸、下第二轉動軸，以及連接所述上第二轉動軸和下第二轉動軸的第二錨點，所述上第二轉動軸和下第二轉動軸具有相同長度。
9.根據權利要求1所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：所述連接梁包括相同長度的上連接梁和下連接梁。
10.根據權利要求1所述的Z軸電容式加速度計，其特征在于：其中電容感應極板的轉動方向與驅動質量塊的轉動方向相反。
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