[實用新型]一種微弱應力檢測裝置

無效

• 申請號: 201020602801.2
• 申請日: 2010-11-11
• 公開（公告）號: CN201885837U
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 鐘聰;石念寶
• 申請（專利權）人: 西安北方捷瑞光電科技有限公司
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217
• 代理人: 黃瑞華

【技術領域】

本實用新型涉及檢測技術領域，特別涉及一種微弱應力檢測裝置。

【背景技術】

目前，公知光學樣件應力檢測普遍采用偏光計，或偏光計加攝像頭進行應力分析。偏光計一般采用白光光源，應用色偏振原理觀測樣件的不同顏色來區分應力的大小。由于色偏振方法顏色的取值為近似值，所以應力的大小值也為近似值。同時，偏光計采用的光學鏡片較多，消除系統本身的色差帶來的影響比較困難。另外，偏光計整個系統的體積較大，移動及攜帶不方便，對樣件的定位檢測不夠靈活。

【實用新型內容】

本實用新型的目的是提供一種微弱應力檢測裝置，已解決上述技術問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種微弱應力檢測裝置，包括：線偏振激光器、孔徑光闌、位移臺、1/4玻片、檢偏器、光電接收器和數字顯示系統；所述孔徑光闌、1/4玻片、檢偏器位于線偏振激光器發出的線偏振光的光軸上，所述檢偏器依次連接所述光電接收器和數字顯示系統。

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

1、線偏振激光器產生高度穩定的線偏振光，保證整個測試的精度；

2、孔徑光闌可以靈活的調整光束半徑，可以對樣品局部細微應力進行檢測；

3、三軸位移臺可以使樣品上下、左右移動，進行樣品不同部位的應力檢測。

【附圖說明】

圖1是本實用新型的結構原理圖。

其中：1為線偏振激光器；2為孔徑光闌；3為被測樣品；4為位移臺；5為1/4玻片；6為檢偏器；7為光電接收器；8為數字顯示系統。

【具體實施方式】

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細描述。

請參閱圖1所示，線偏振激光器1產生高度穩定的線偏振光，保證整個測試的精度；孔徑光闌2可以靈活的調整光束半徑，以對局部細微應力進行檢測；三軸位移臺4可以使樣品3上下、左右移動，進行樣品3不同部位的應力檢測；1/4玻片5使應力造成的橢圓偏振光再次轉化為線偏振光，但偏振方向會旋轉一定的角度；檢偏器6的檢偏方向與激光源的偏振方向垂直，如果所測樣品無應力，直接得到最小光強值；如果樣品存在應力，需旋過一定角度才能獲得光強最小值，旋過的角度可以表征應力的大小；光電探測系統7可以記錄偏振方向旋過的角度，數顯系統8將角度值進行處理后，可以將所測應力值顯示。

本實用新型采用高度線偏振的激光光源(可加起偏器)，使激光透過檢測樣品。由于應力雙折射效應，線偏振光將變為橢圓偏振光，橢圓偏振光經1/4玻片，再次轉化為線偏振光。此時，線偏振光的偏振方向與原偏振光的偏振方向將形成一個角度，角度的大小反映樣品應力的大小。后級通過一個檢偏器與光電探測系統連接，檢偏器的初始偏振方向與激光源的偏振方向相互垂直，檢偏器可自動旋轉，旋轉過程通過光電探測系統可以將光強最小值，及對應的旋轉角度進行記錄，再通過數字系統的計算最后可將應力值直接顯示。如果采用632.8nm波長的光為線偏振光源，以探測器的探測精度為0.1°計算，測試光程的靈敏度為0.3nm，超過目前一個量級，而且激光器端口加入孔徑光闌后，還可以通過控制光束的大小檢測局部應力的大小。從而，達到快捷準確的定位測試應力的目的。