[實(shí)用新型]一種鍵合壓塊裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020598831.0
• 申請(qǐng)日: 2010-11-10
• 公開（公告）號(hào): CN201859856U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙亞俊;尹華;鹿穎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南通富士通微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/603
• 分類號(hào): H01L21/603
• 代理公司: 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31233
• 代理人: 黃志達(dá);謝文凱

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體封裝鍵合夾具，特別是涉及一種半導(dǎo)體封裝鍵合夾具中的壓塊裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體封裝鍵合工藝中需要用到鍵合夾具裝置，傳統(tǒng)的鍵合夾具裝置結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，如圖1所示，僅包括壓塊1和加熱塊2兩部分。工作時(shí)，壓塊1向下壓，依靠壓塊1與加熱塊2的夾合作用鎖定引線框架的臺(tái)支部分5，使引線框架載片臺(tái)4貼近加熱塊；加熱塊2通過真空孔3的真空吸附作用，實(shí)現(xiàn)將引線框架載片臺(tái)4固定于加熱塊上，防止引線框架載片臺(tái)4在鍵合過程中出現(xiàn)位移。但實(shí)際作業(yè)過程中，引線框架結(jié)構(gòu)本身存在一定的偏差。若偏差較大時(shí)，僅依靠壓塊1和加熱塊2的夾合作用無法使引線框架載片臺(tái)4緊貼于加熱塊2上，造成引線框架載片臺(tái)4與加熱塊2間出現(xiàn)空隙6；這時(shí)真空孔3的真空吸附效果大大降低，達(dá)不到鎖定框架的目的，進(jìn)而影響到鍵合工藝效果。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種鍵合壓塊裝置，使加熱塊真空孔的真空吸附作用發(fā)揮最大效率，進(jìn)而達(dá)到鎖定框架的目的。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：提供一種鍵合壓塊裝置，包括壓塊，所述的鍵合壓塊裝置還包括活動(dòng)壓爪、活塞和彈簧；所述的活動(dòng)壓爪的頂端為鉤狀、中間設(shè)有關(guān)節(jié)；所述的壓塊內(nèi)設(shè)有活塞缸體；所述的活塞缸體與所述的活塞相互配合；所述的活塞的上端連有所述的彈簧；所述的彈簧的另一端與所述的活動(dòng)壓爪的末端相連；所述的活動(dòng)壓爪的關(guān)節(jié)固定在所述的壓塊的前端。

所述的壓塊在距離其前端四分之一處設(shè)有活塞缸體。

有益效果

由于采用了上述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果：本實(shí)用新型通過增加的活動(dòng)壓爪，通過機(jī)械方式將框架載片臺(tái)壓緊在加熱塊表面，從而避免出現(xiàn)框架“懸空”的現(xiàn)象，使加熱塊真空孔的真空吸附作用發(fā)揮最大效率，進(jìn)而達(dá)到鎖定框架的目的；同時(shí)，該機(jī)械部分充分利用了鍵合機(jī)的機(jī)械動(dòng)力，通過壓塊的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生動(dòng)力，不需要增加另外的動(dòng)力裝置。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中鍵合壓塊裝置工作狀態(tài)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型工作狀態(tài)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型復(fù)位狀態(tài)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書所限定的范圍。

一種鍵合壓塊裝置，如圖2所示，包括壓塊1、活動(dòng)壓爪7、活塞9和彈簧8。所述的活動(dòng)壓爪7的頂端為鉤狀、中間設(shè)有關(guān)節(jié)。所述的壓塊1距離其前端四分之一處設(shè)有活塞缸體，所述的活塞缸體與所述的活塞9相互配合。所述的活塞9的上端連有所述的彈簧8，所述的彈簧8的另一端與所述的活動(dòng)壓爪7的末端相連；所述的活動(dòng)壓爪7的關(guān)節(jié)固定在壓塊1的前端。其中彈簧8可起到兩個(gè)作用：1，框架本身的偏差并不固定，通過彈簧8可以調(diào)節(jié)每次活動(dòng)壓爪7壓下的高度，適應(yīng)不同偏差的框架，使之具有通用性；2，避免活動(dòng)壓爪7下壓力量過大，壓傷引線框架載片臺(tái)部分；或因活動(dòng)壓爪7過早接觸引線框架載片臺(tái)，導(dǎo)致壓塊1無法壓實(shí)引線框架的其它部分，從而導(dǎo)致其它問題的產(chǎn)生。

如圖3所示，當(dāng)引線框架置于加熱塊2上時(shí)，將壓塊1作向下(即向加熱塊2方向)運(yùn)動(dòng)，與加熱塊2鎖定引線框架的臺(tái)支部分5。活塞9因引線框架的阻擋，停止運(yùn)動(dòng)，而壓塊1繼續(xù)向下運(yùn)動(dòng)，這時(shí)活塞9會(huì)相對(duì)壓塊1作向上運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)彈簧8進(jìn)行向上運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)壓爪7繞著其關(guān)節(jié)處順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使壓爪7的鉤狀頂端壓向框架載片臺(tái)4，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)將引線框架載片臺(tái)4壓緊在加熱塊2的表面。此時(shí)，真空裝置通過真空孔3作用于引線框架載片臺(tái)4，從而實(shí)現(xiàn)鎖定框架的目的。當(dāng)完成鍵合作業(yè)后，如圖4所示，鍵合設(shè)備真空裝置停止工作，真空孔3不再有真空吸附效果，將壓塊1作向上運(yùn)動(dòng)(即背離加熱塊2)，松開引線框架的臺(tái)支部分5在活塞9的重力作用下，活塞9向下運(yùn)動(dòng)，通過帶彈簧8向下運(yùn)動(dòng)，再次帶動(dòng)壓爪7繞關(guān)節(jié)處逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，使壓爪7的鉤狀頂端脫離引線框架的載片臺(tái)4表面，進(jìn)入下一工作循環(huán)。

不難發(fā)現(xiàn)，本實(shí)用新型通過增加的活動(dòng)壓爪，通過機(jī)械方式將框架載片臺(tái)壓緊在加熱塊表面，從而避免出現(xiàn)框架“懸空”的現(xiàn)象，使加熱塊真空孔的真空吸附作用發(fā)揮最大效率，進(jìn)而達(dá)到鎖定框架的目的；同時(shí)，該機(jī)械部分充分利用了鍵合機(jī)的機(jī)械動(dòng)力，通過壓塊的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生動(dòng)力，不需要增加另外的動(dòng)力裝置。