[實用新型]用于測量透明板中的處理引起特征的裝置無效
| 申請號： | 201020596487.1 | 申請日： | 2010-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN202075242U | 公開（公告）日： | 2011-12-14 |
| 發明（設計）人： | R·S·普里斯特雷;E·A·索哈林 | 申請（專利權）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/958 | 分類號： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 茅翊忞 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 測量 透明 中的 處理 引起 特征 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于測量透明板中的處理引起特征的裝置，包括：
光源；
成像裝置；以及
透明板支承結構，所述透明板支承結構設置在所述光源和所述成像裝置之間，
其中，所述支承結構構造成且設置成支承所述透明板，以使由所述支承結構引起的測量誤差在沿第一軸線或平行于第一軸線延伸時被所述成像裝置觀察到，當通過所述成像裝置進行觀察時，所述透明板中的所述處理引起特征沿第二軸線或平行于第二軸線延伸，所述第一軸線傾斜于所述第二軸線。
2.如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述支承結構包括棒，所述棒沿傾斜于所述第二軸線的軸線延伸。
3.如權利要求2所述的測量裝置，其特征在于，所述棒包括開口，所述支承結構包括與所述開口連通的真空源。
4.如權利要求2所述的測量裝置，其特征在于，在所述棒之間設有空間，所述棒包括第一寬度，而所述空間包括第二寬度，此外，所述第一寬度小于或等于所述第二寬度。
5.如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述成像裝置包括沿第三軸線定向的像素，其中，支承結構包括這樣的空間：通過這些空間可由所述成像裝置觀察到源自所述光源的光線，這些空間包括與所述第一軸線平行的縱向軸線，并且其中，所述第三軸線相對于所述縱向軸線傾斜。?
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