[實用新型]氣相納米制備儀

無效

• 申請號: 201020595963.8
• 申請日: 2010-11-03
• 公開（公告）號: CN201864775U
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發明（設計）人: 陳明華;崔忠信
• 申請（專利權）人: 北京聯合創美科技發展有限公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;B82Y40/00
• 代理公司: 北京立成智業專利代理事務所(普通合伙) 11310
• 代理人: 張江涵

1.氣相納米制備儀，其特征在于：包括有復合加熱器和復合反應器；復合加熱器包括有環形加熱器，環形加熱器內部設有殼夾加熱器和物料升華器，殼夾加熱器和物料升華器之間通過輸氣管相連通；所述殼夾加熱器包括有內外兩層殼體，內外殼體之間形成密閉空間，該密閉空間的進口端通過進氣管依次與干燥過濾罐、前驅氣體氣瓶相連通，出口端通過輸氣管與物料升華器相連通；沿外層殼體至內層殼體上開設有數個導流孔，該導流孔包括通孔和導流板，通孔使內殼體內部與外界相連通，同時保持密閉空間的密閉性，導流板夾設在內外兩層殼體之間，導流板底端側邊固定在通孔壁上，且導流板軸線與水平線具有夾角，所有導流孔中的導流板設置方向相同；升華器底端設有加料口，加料器通過加料口置入升華器底端，使升華器底端密閉；復合反應器包括有環形加熱器，環形加熱器內部設有殼夾加熱器和物料反應器，殼夾加熱器進口端與后驅物氣態加熱罐相連通，出口端通過輸氣管與反應混合噴射器的后驅物氣體進口端連接；物料升華器的頂端連接有輸氣管，該輸氣管的出口端與反應混合噴射器的前驅物氣體進口端相連接；所述反應混合噴射器設置在物料反應器的頂端，其混合噴射器的下端與物料反應器頂端相連通；噴射器具有噴射器殼體，殼體上設有前驅物氣體進口端、出口端和后驅物氣體進口端、出口端，前驅物氣體出口端外周至少設有兩個后驅物氣體出口端，且前驅物氣體出口端位于后驅物氣體出口端之間；物料反應器的下端與冷卻水套相連通，冷卻水套的下端通過輸氣管與納米收集器相連通；所述納米收集器包括有密閉的收集器本體，收集器本體外周設有冷卻管，冷卻管同外部的制冷壓縮機相連；收集器本體底端連接進氣管，上端通過出氣管同真空泵相連接；收集器本體內底部為除酸冷卻室，上部為收集室，冷卻室內放置有堿性溶液，收集室內設有收集網，在除酸冷卻室和收集室之間設有多層凝集阻隔板，凝集阻隔板為具有多個通孔的平面板。

2.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：導流板軸線與水平線的夾角為20°-45°。

3.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：殼夾加熱器和物料升華器之間的輸氣管其出口端延伸至升華器的底部。

4.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：所述凝集阻隔板的通孔從下至上為倒錐形。

5.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：所述凝集阻隔板的通孔其橫截面側邊與阻隔板下表面的夾角角度為20°-50°。

6.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：所述混合噴射器中沿前驅物氣體出口端外周一周設有后驅物氣體出口端。

7.如權利要求6中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：沿前驅物氣體出口端外周一周設有的后驅物氣體出口端相互連通。

8.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：所述導流孔具有三個，沿殼夾加熱器一周均勻分布。

9.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：所述夾殼加熱器的內外殼體間的間距與外殼體高度比為1∶200。

10.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于：所述收集器本體還連接有壓力變送器。