[實用新型]一種貼片式固體激光器的調整裝置

有效

• 申請號: 201020591104.1
• 申請日: 2010-10-29
• 公開（公告）號: CN201838887U
• 公開（公告）日: 2011-05-18
• 發明（設計）人: 張瑛;畢勇;鮑光;劉誼元
• 申請（專利權）人: 北京中視中科光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/086
• 分類號: H01S3/086
• 代理公司: 北京高文律師事務所 11359
• 代理人: 徐江華

技術領域

本實用新型涉及固體激光器領域，具體涉及一種貼片式固體激光器的調整裝置。

背景技術

隨著半導體技術的日益發展和成熟，激光二極管(Laser?Diode，簡稱LD)在功率、轉換效率、波長擴展和運行壽命等方面已經有了很大的提高。由于LD具有量子效率高、可靠性高、使用壽命長、發射波長與激光介質吸收峰容易對應、激光輸出光束質量好等特點，這就使得LD與泵浦技術相互結合，產生了LD泵浦固體激光器。它具有高效率、高光束質量、長壽命、全固化、結構緊湊和輕便等優勢，因此越來越受到人們的關注。在醫療、通信、材料加工和科學研究等領域都有廣泛的應用。

現今的LD泵浦固體激光器中的諧振腔，都是平凹腔結構，這種結構的諧振腔都是通過手動調節的方式對腔內晶體和光學元件進行位置的調節，不僅增加了調制過程的工作量和復雜度，而且容易產生精度誤差，使輸出的激光質量不夠理想，生產效率較低，因此難以實現批量生產。

實用新型內容

本實用新型針對固體激光器制造現有的缺點，提出了一種貼片式固體激光器的調整裝置以及制作方法，利用該裝置和制造方法可提高固體激光器諧振腔的調節速率，提高生產效率，有利于實現批量化生產。

本實用新型解決上述技術問題所采取的技術方案具體如下面所描述：

一種貼片式固體激光器的調整裝置，包括機械夾具以及真空泵，其中，所述機械夾具包括本體部，端面光滑且彼此平行的第一連接部和第二連接部，所述第一連接部的端面和第二連接部的端面分別與形成諧振腔的激光晶體和倍頻晶體接觸，并且，所述第一連接部的端面和第二連接部的端面分別與所述本體部上開設的出氣口相通，所述真空泵連接所述出氣口。

所述本體部為環形的拱形結構，并且，在本體部中間設置有一個加強部。

所述第一連接部和第二連接部對稱地設置在本體部的兩端。

所述第一連接部的端面和所述第二連接部的端面之間的平行度小于1″。

所述第一連接部、所述第二連接部以及所述本體部由剛性材料構成。

由于采用了上述技術方案，使得本實用新型與傳統技術相比具有以下優點和積極效果：

第一，由于本實用新型中機械夾具的第一連接部和第二連接部的端面互相平行，因此，可以通過調節端面的平行度調節構成諧振腔的兩個晶體之間的平行度，調節方法簡單方便并且準確。

第二，本實用新型對構成諧振腔的兩晶體進行機械定位以后，機械夾具可與構成諧振腔的晶體脫離，并從調節系統中移除，拆卸方法簡單可行，不會對光路產生影響，提高了生產效率，因而具有較好的技術效果。

附圖說明

通過下面結合附圖對其示例性實施例進行的描述，本實用新型上述特征和優點將會變得更加清楚和容易理解。

圖1是本實用新型所述的貼片式固體激光器調整裝置的應用示意圖；

圖2是本實用新型所述的貼片式固體激光器調整裝置中機械夾具的剖面圖；

圖3是本實用新型所述的貼片式固體激光器制造方法的流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的說明。

圖1是本實用新型所述的貼片式固體激光器調整裝置的應用示意圖。如圖所示，包括貼片式固體激光器的LD泵浦光源101、激光晶體102、倍頻晶體103，以及所述調整裝置的機械夾具104和真空泵105。

圖2是圖1中機械夾具104的剖面圖。如圖所示，機械夾具104包括本體部201、第一連接部202和第二連接部203、出氣口204和加強部205。機械夾具104的第一連接部202和第二連接部203對稱分布在本體部201的兩側，并且，本體部201為拱形結構，加強部205位于本體部中間，出氣口204設置在拱形結構的最上端。第一連接部202和第二連接部203的端面S5和S6分別與出氣口204相通，真空泵105連接出氣口204，用于對機械夾具104進行抽真空，使得機械夾具104與激光晶體102和倍頻晶體103吸附為一體，并能夠在隨后的過程中便于拆卸。

在本實施例中，激光晶體102選用了Nd:YVO4(摻釹釩酸釔)晶體，倍頻晶體103選用PPLN(周期性極化鈮酸鋰)晶體，當然也可以選用其他材料的晶體。并且，在激光晶體102和倍頻晶體103的透光面都鍍有相應波長的增透膜和反射膜，激光晶體102的入光面和倍頻晶體103的出光面之間構成諧振腔。