[實用新型]一種用于TFT玻璃基板的退火溫度控制裝置

有效

• 申請號: 201020586663.3
• 申請日: 2010-10-28
• 公開（公告）號: CN201896128U
• 公開（公告）日: 2011-07-13
• 發明（設計）人: 劉琎;寧小永
• 申請（專利權）人: 陜西彩虹電子玻璃有限公司
• 主分類號: C03B25/02
• 分類號: C03B25/02
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 劉國智

技術領域

本實用新型涉及一種玻璃退火溫度控制裝置，尤其是涉及一種用于TFT玻璃基板的退火溫度控制裝置。

背景技術

玻璃基板應力的大小是其一個重要性能參數，如果基板應力不能保證在合格范圍內，則在制造過程中會出現炸裂、變形等問題，而退火是有效消除應力的一個重要手段。目前生產TFT玻璃基板的幾種成熟的方法中，以溢流成型發最為流行，也相對的最為成熟，但相對的該工藝對生產過程及生產環境的控制要求都很高，TFT玻璃基板領域內的退火設備相比其它玻璃行業中使用的退火時設備要短的多，不便于多項調整，調整手段單一，無法達到通過提高退火效果來有效消除應力的目的。

發明內容

為了克服上述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于TFT玻璃基板的退火溫度控制裝置，該退火溫度控制裝置能夠使得退火爐內部的溫度和氣流可控，具有結構簡單易于利用的特點。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種用于TFT玻璃基板的退火溫度控制裝置，包括加熱模塊1，還包括均溫板4，均溫板4通過伸縮機構3與退火爐2連接，退火爐2上固定有加熱模塊1。

所述加熱模塊1為多個。

本實用新型與現有技術相比具有以下優點：

1)使得退火爐內部的溫度可控。

2)使得退火爐內部的氣流可控。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的使用狀態圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

如圖1、圖2所示，一種用于TFT玻璃基板的退火溫度控制裝置，包括加熱模塊1，還包括均溫板4，均溫板4通過伸縮機構3與退火爐2連接，退火爐2上固定有加熱模塊1。所述加熱模塊1為多個。

本實用新型的工作原理為：

工作時，本實用新型等距分布在玻璃板5的兩側，當玻璃板5下流時利用退火的溫度控制裝置中的加熱模塊1消除應力，并利用均溫板4的位置變化控制成型設備內部氣流。根據玻璃板5的內部應力，首先使用加熱模塊1對相應部位進行溫度控制，如加熱模塊1功率已降至零或升至最大限度，仍不能滿足工藝使用要求時，則啟動伸縮機構3，將均溫板4相對與玻璃板5進行移動，以改變退火爐2內的降溫環境，使退火爐2腔體內溫度上升或下降，以達到改變工藝溫度的目的。當利用伸縮機構3，調整均溫板4的與與玻璃板5的相對位置時，還可影響到成型設備內部的空氣流東，并最終改變爐體內整體氣流。