[實用新型]一種晶片測試機中的取送片機構

無效

• 申請號: 201020584925.2
• 申請日: 2010-11-01
• 公開（公告）號: CN201867417U
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發明（設計）人: 沈彪;李向清;胡德良
• 申請（專利權）人: 江陰市愛多光伏科技有限公司
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及電子工業中晶片測試機，特別是自動適合于無接觸式測試裝置中的晶片搬運機構。

背景技術

石英晶片在電子產業中應用量極大，在生產過程中需要對晶片逐一取送，進行多次參數測試和等級分類。由于測試的晶片很薄，數量多，人工取送晶片已不被容許。現有技術中，如中國專利申請03129298.8所公開的，由圓振送料器將晶片有序排列送到出片口，由機械手裝置逐一將晶片夫持并進行測試。其缺點一是夾持過程中夫持力需嚴格控制，過小晶片容易滑脫，過大則會夫碎晶片。

實用新型內容

本實用新型的目的是為非接觸式，比如光束晶片自動測試裝置，提供一種安全、快速的晶片自動取送機構。

本實用新型由取片裝置和送片裝置組成，取片裝置包括一個往復運行的取片滑塊，和一個能隨該滑塊運行并可擺動的與氣管遙遠的取片吸嘴，送片裝置包括一個往復運行的送片滑塊，和一個能隨該滑塊運行與氣管連通的送片吸嘴。

取片滑塊和送片滑塊分別安裝在取片無桿氣缸和送片無桿氣缸上，并可沿各自氣缸導軌往復滑動。

取片吸嘴安裝在擺動氣缸上，擺動氣缸安裝在取片升降氣缸側部，該升降氣缸與取片滑塊連接，取片吸嘴的擺角為90°。

送片吸嘴通過送片升降氣缸與送片滑塊連接。

取片吸嘴和送片吸嘴位于測片臺、片匣所在的同一軸線上。

本實用新型采用微電腦程序控制兩個取送片吸嘴搬運裝置，將晶片準確安放在測試臺上，并可快速將已測晶片送到自動分類收集器入口，動作可靠，測試速度高，為電子產業提供了一種新型高效裝備。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例俯視圖；

圖2為圖1中取片裝直右視放大圖；

圖3為圖1中送片裝置左視放大圖；

圖4為圖1中晶片片匣裝置左視放大圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。

結合圖1～圖3，取片裝置由氣缸支架1、元桿氣缸2、可沿氣缸軌道往復滑行的取片滑塊3、與滑塊3隨動的取片升降氣缸4、與升降氣缸4連接的擺動氣缸5、安裝在擺動氣缸5上的取片吸嘴6組成；送片裝置由氣缸支架8、無桿氣缸11、沿氣缸軌道往復滑行的送片滑塊15，與骨塊15連接的送片升降氣缸9、受升降氣缸9驅動的送片吸嘴10組成，按圖中方向，吸嘴6和10的上端為吸盤，下端為氣管接頭。測片臺7和片匣裝置14均位于兩吸嘴共同所在的軸線上。

參照圖4，片匣裝置14包括由電機20驅動的絲杠16，與絲杠16螺紋配合的升降滑塊17，安裝在滑塊17側部并伸入到匣內的晶片托板18，托板18上層疊放置待測晶片12。

工作過程說明：

整個裝置中的各氣缸、吸嘴動作由程序控制器控制。片匣裝直14匣內晶片12頂端第一片位于匣頂，匣頂旁的探測器可隨時感應該晶片是否被取走，若第一片被取走，控制器控制電機20轉動使托板18隨滑臺17沿絲杠16上升，當第二片晶片取代原第一片位置時停止上升，等待取片，直至匣內晶片被取完。

取片開始時，滑塊3沿無桿氣缸滑向片匣方向，同時吸嘴6受擺動氣缸5驅動擺動90°，使吸盤朝下。當該吸盤正對匣內晶片12上方時，升降氣缸4驅動吸嘴6下降，直至吸盤將晶片12吸住；然后升降氣缸4上升復位，擺動氣缸5復位，滑塊3反向運行，直至將晶片送至測片臺7后釋放晶片，開始重復下一循環動作。

測試臺上的品片受一光束照射，其折射光被接收器接收，數據送微電腦控制器進行參數字判別、分類。送片裝置動作，安裝在氣缸支架8上的送片；骨塊15沿元桿氣缸11的導軌向測片臺7方向運行，當送片吸嘴10上的吸盤位于已測晶片上方時，升降氣缸9驅動吸嘴10下降至吸盤正對晶片并吸住，然后升降氣缸9上升復位，隨滑塊15反向運行，直至吸盤位于晶片分類金上方的可轉動滑槽的入口處，釋放晶片，將晶片送入相應檔級的收集金內。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。