[實用新型]一種氮氧化物傳感器芯片

有效

• 申請號: 201020584510.5
• 申請日: 2010-10-30
• 公開（公告）號: CN201852814U
• 公開（公告）日: 2011-06-01
• 發明（設計）人: 謝光遠;黃海琴;尹亮亮;王哲;倪銘
• 申請（專利權）人: 無錫隆盛科技有限公司
• 主分類號: G01N27/407
• 分類號: G01N27/407
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 任益

1.一種氮氧化物傳感器芯片，由六層基片第一層至第六層基片(1-6)疊壓而成，其特征在于：六層基片的材質均為氧化鋯，第二層基片(2)上包括四個空腔，第一空腔(7)、第二空腔(9)、第三空腔(13)、第四空腔(16)，四個空腔之間依次分別設置有三列擴散障礙層(8、10、14)，第三空腔(13)內設置有第一電極(12)，第四空腔(16)內設置有第二電極(15)和第三電極(18)，第三層基片(3)上設有與大氣相連的參比氣體通道(22)，第三層基片(3)與第四層基片(4)之間設置有參比電極(19)，參比電極(19)上覆蓋有多孔氧化鋁層(20)，參比氣體通道(22)通過小孔(21)與多孔氧化鋁層(20)連通，第四層基片(4)與與第五層基片(5)之間設置有加熱電極(23)，加熱電極(23)的上下各有一層絕緣層(24)，第一層基片上設置有第四電極(11)，第四電極(11)上覆蓋有保護層(25)，所述第三電極(18)上覆蓋有一層多孔氧化鋁質的膜層(17)。

2.根據權利要求1所述的氮氧化物傳感器芯片，其特征在于：所述加熱電極(23)上下的絕緣層(24)材質為致密氧化鋁質。

3.根據權利要求1所述的氮氧化物傳感器芯片，其特征在于：所述第一電極(12)和第二電極(15)的材料為對氮氧化物不敏感的金屬陶瓷。

4.根據權利要求1所述的氮氧化物傳感器芯片，其特征在于：所述第四電極(11)上覆蓋的保護層(25)材質為多孔氧化鋁質。?