[實(shí)用新型]倒角機(jī)工件規(guī)正檢測(cè)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020583176.1
• 申請(qǐng)日: 2010-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN201859858U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董雙利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津友愛康復(fù)醫(yī)療設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 天津市三利專利商標(biāo)代理有限公司 12107
• 代理人: 肖莉麗

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種倒角機(jī)工件規(guī)正檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體硅片是超大規(guī)模集成電路的主要襯底材料。為了獲得較高精度的形狀，在半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)過(guò)程中需要進(jìn)行倒角加工，倒角后的硅片精度直接影響到產(chǎn)品的幾何參數(shù)。目前，倒角機(jī)的送料部分只有初步的規(guī)正調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，不能滿足高精度加工的需要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種能夠?qū)杵M(jìn)行規(guī)正，并對(duì)規(guī)正后的硅片進(jìn)行檢測(cè)，以提高加工精度的倒角機(jī)工件規(guī)正檢測(cè)裝置。

本實(shí)用新型通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種倒角機(jī)工件規(guī)正檢測(cè)裝置，其特征在于，包括基座，所述基座上固定安裝有規(guī)正汽缸和電子尺，所述電子尺的測(cè)量桿通過(guò)連接板與兩個(gè)導(dǎo)杠一端固定連接，兩個(gè)導(dǎo)杠的另一端與導(dǎo)輪固定板固定連接，所述導(dǎo)輪固定板上安裝有兩個(gè)可自由轉(zhuǎn)動(dòng)的規(guī)正導(dǎo)輪，兩個(gè)導(dǎo)杠分別置于固定在基座上的導(dǎo)套內(nèi)，所述規(guī)正汽缸的推桿與規(guī)正調(diào)節(jié)板固定連接，兩個(gè)導(dǎo)杠與所述規(guī)正調(diào)節(jié)板固定連接，所述規(guī)正調(diào)節(jié)板與基座之間安裝有彈簧，所述電子尺的信號(hào)輸出端通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器與倒角機(jī)PLC控制器的檢測(cè)信號(hào)輸入端連接，所述倒角機(jī)PLC控制器分別與觸摸屏和報(bào)警器連接。

所述規(guī)正導(dǎo)輪的表面為彈性材料。

本實(shí)用新型具有下述技術(shù)效果：

本實(shí)用新型的規(guī)正檢測(cè)裝置能夠?qū)?jīng)過(guò)初步規(guī)正調(diào)節(jié)的硅片工件再次進(jìn)行規(guī)正，并對(duì)規(guī)正后的工件進(jìn)行檢測(cè)，以保障工件送到加工臺(tái)上的精度，從而提高工件加工精度，滿足高精度加工的需要。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型倒角機(jī)切邊規(guī)正檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為規(guī)正部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

本實(shí)用新型倒角機(jī)切邊規(guī)正檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1和圖2所示，包括基座4，基座4上固定安裝有規(guī)正汽缸5和電子尺6，電子尺6的測(cè)量桿通過(guò)連接板9與兩個(gè)導(dǎo)杠3一端固定連接，兩個(gè)導(dǎo)杠3的另一端與導(dǎo)輪固定板2固定連接，導(dǎo)輪固定板2上安裝有兩個(gè)可自由轉(zhuǎn)動(dòng)的規(guī)正導(dǎo)輪1，兩個(gè)導(dǎo)杠分別置于固定在基座上的導(dǎo)套內(nèi)，規(guī)正汽缸5的推桿與規(guī)正調(diào)節(jié)板8固定連接，兩個(gè)導(dǎo)杠3與規(guī)正調(diào)節(jié)板8固定連接，規(guī)正調(diào)節(jié)板8與基座4之間安裝有彈簧7，電子尺6的信號(hào)輸出端通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器與倒角機(jī)PLC控制器的檢測(cè)信號(hào)輸入端連接，所述倒角機(jī)PLC控制器分別與觸摸屏和報(bào)警器連接。報(bào)警器可以采用指示燈報(bào)警、聲光報(bào)警等。

為了防止規(guī)正導(dǎo)輪對(duì)硅片的損傷，規(guī)正導(dǎo)輪1的表面為彈性材料。

當(dāng)規(guī)正汽缸5的推桿伸出時(shí)帶動(dòng)規(guī)正調(diào)節(jié)板8，從而帶動(dòng)與規(guī)正調(diào)節(jié)板8固定連接的兩個(gè)導(dǎo)杠3在導(dǎo)套內(nèi)移動(dòng)，兩個(gè)導(dǎo)杠帶動(dòng)導(dǎo)輪固定板上的規(guī)正導(dǎo)輪與工件分離，同時(shí)彈簧7被拉伸。當(dāng)規(guī)正汽缸5的推桿收縮時(shí)帶動(dòng)規(guī)正調(diào)節(jié)板8，從而帶動(dòng)與規(guī)正調(diào)節(jié)板8固定連接的兩個(gè)導(dǎo)杠3在導(dǎo)套內(nèi)移動(dòng)，兩個(gè)導(dǎo)杠帶動(dòng)導(dǎo)輪固定板上的規(guī)正導(dǎo)輪向工件移動(dòng)，同時(shí)彈簧復(fù)位。由于彈簧彈力的作用，能夠防止規(guī)正導(dǎo)輪對(duì)工件的損傷。通過(guò)電子尺測(cè)量桿可以得到導(dǎo)杠的位移數(shù)值，導(dǎo)杠位移的數(shù)值被模數(shù)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成數(shù)字量后送到倒角機(jī)PLC控制器，與倒角機(jī)PLC控制器中存儲(chǔ)的設(shè)定值進(jìn)行比較，如果與設(shè)定值接近，則認(rèn)為規(guī)正到位，倒角機(jī)PLC控制器控制進(jìn)入下一步動(dòng)作。如果電子尺檢測(cè)的位移數(shù)值與設(shè)定值之間差距較大，則倒角機(jī)PLC控制器輸出報(bào)警信號(hào)進(jìn)行報(bào)警，則人工對(duì)工件進(jìn)行調(diào)節(jié)，重復(fù)送料動(dòng)作，直到導(dǎo)杠位移數(shù)值達(dá)到要求，再進(jìn)行下一步動(dòng)作。