[實用新型]靶材裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020566063.0
• 申請日: 2010-10-19
• 公開（公告）號: CN201809435U
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃泳釗;鄭博仁
• 申請（專利權(quán)）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京泰吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;羅會英

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種濺鍍設(shè)備，特別是涉及一種濺鍍設(shè)備的靶材裝置。

背景技術(shù)

一般濺鍍裝置包含一個腔體、一個安裝在腔體內(nèi)的背板、一個與該背板結(jié)合的靶材，及一個待濺鍍表面。在施行濺鍍時，是利用高電壓在該靶材與該待濺鍍表面間產(chǎn)生電漿，而該靶材在經(jīng)過電漿撞擊后會產(chǎn)生游離而飛濺的原子，并沉積在該待濺鍍表面上，進而產(chǎn)生薄膜，達到在該待濺鍍表面鍍上預(yù)定材料層的目的。靶材受到電漿撞擊后，會產(chǎn)生高溫，因此為了降低靶材的溫度，該背板會包括數(shù)個流道，并在流道內(nèi)灌注冷卻液以達到降低靶材溫度的功能。而在待濺鍍面積較大而需要較大靶材的情況下，流道的長度也隨之變長，并且增加了每一單位冷卻液在流道內(nèi)的時間，使得鄰近流道末端的冷卻液的溫度過高，而無法發(fā)揮冷卻效果。因此，一般濺鍍裝置運用在濺鍍大面積時，的確具有冷卻不平均，及冷卻效率低的情形。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種可均勻地冷卻而提高冷卻效率，并且具有良好適應(yīng)性的靶材裝置。

本實用新型的靶材裝置包含：一個第一背板機構(gòu)，該第一背板機構(gòu)包括一個第一板單元，及一個安裝在該第一板單元上的第一靶材，該第一板單元具有一個第一上板面、一個與該第一靶材貼靠的第一下板面、數(shù)個自該第一上板面凹陷且彼此連通地并排的第一主流道，及數(shù)個貫穿該第一上板面而與所述第一主流道連通的第一注水口；其特征在于：該靶材裝置還包含一個與該第一背板機構(gòu)拼接的第二背板機構(gòu)，及一個可卡合地位在該第一背板機構(gòu)與該第二背板機構(gòu)間的第一接合機構(gòu)，該第二背板機構(gòu)包括一個可利用該第一接合機構(gòu)地與該第一板單元拼接的第二板單元，及一個安裝在該第二板單元上的第二靶材，該第二板單元具有一個第二上板面、一個與該第二靶材貼靠的第二下板面、數(shù)個自該第二上板面凹陷且彼此連通地并排的第二主流道，及兩個貫穿該第二上板面地與所述第二主流道連通的第二注水口。

本實用新型靶材裝置還包含一個第三背板機構(gòu)，及一個可卡合地拼接該第一背板機構(gòu)與第三背板機構(gòu)的第二接合機構(gòu)，該第三背板機構(gòu)包括一個第三板單元，及一個安裝在該第三板單元上的第三靶材，該第三板單元具有一個第三上板面、一個第三下板面、數(shù)個自該第三上板面凹陷且彼此連通地并排的第三主流道，及兩個貫穿該第三上板面地連通所述第三主流道的第三注水口。

本實用新型靶材裝置的第一板單元還具有兩條平行的第一橫邊，及兩條平行的第一縱邊，所述第一縱邊與所述第一主流道平行，該第二板單元還具有兩條平行的第二橫邊，及兩條平行的第二縱邊，所述第二縱邊與所述第二主流道平行，該第一接合機構(gòu)包括一個位在其中一個第一縱邊與其中一個第二縱邊中之一者的第一接合溝，及一個設(shè)置在該第一縱邊與該第二縱邊其中之另一者上的第一接合條，且該第一接合條可與該第一接合溝卡合。

本實用新型靶材裝置的第三板單元還具有兩條平行的第三橫邊，及兩條平行的第三縱邊，所述第三縱邊與所述第三主流道平行，該第二接合機構(gòu)包括一個設(shè)置在另一個第一縱邊與其中一個第三縱邊中之一者的第二接合溝，及一個設(shè)置在該另一個第一縱邊與該第三縱邊其中之另一者上的第二接合條，且該第二接合條可與該第二接合溝卡合。

本實用新型靶材裝置的第一板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第一橫邊且連通兩相鄰的第一主流道的第一彎流道，該第二板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第二橫邊且連通兩相鄰的第二主流道的第二彎流道，所述第一注水口分別位在其中一個第一橫邊的兩相反端，所述第二注水口分別位在其中一個第二橫邊的兩相反端。

本實用新型靶材裝置的第三板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第三橫邊且連通兩相鄰的第三主流道的第三彎流道，所述第三注水口分別位在其中一個第三橫邊的兩相反端。

本實用新型的有益效果在于：因為該第一背板機構(gòu)與該第二背板機構(gòu)利用該第一接合機構(gòu)而拼接成一體，并具有可獨立冷卻的第一主流道及第二主流道，因此可均勻地冷卻該第一靶材與第二靶材，而提高冷卻效率，并具有良好適應(yīng)性。

附圖說明

圖1是一個俯視圖，顯示本實用新型靶材裝置的一個較佳實施例，及其未裝設(shè)數(shù)個流道蓋的情形；

圖2是一個部分剖視側(cè)視圖，顯示該靶材裝置的一個第一背板機構(gòu)的其中一個第一注水口與其中一個第一主流道連通的情形；

圖3是一個部分立體分解圖，顯示該第一背板機構(gòu)；

圖4是一個部分剖視分解圖，主要顯示該靶材裝置的一個第一接合機構(gòu)與一個第二接合機構(gòu)。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。