[實用新型]閥門更換裝置

有效

• 申請號: 201020565102.5
• 申請日: 2010-10-16
• 公開（公告）號: CN201858478U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 王學利
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F16L55/00
• 分類號: F16L55/00;F16L55/10;F16K51/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及機械、半導體和化學領域，尤其涉及閥門更換裝置。

背景技術

在集成電路制造過程中，需使用各種管路輸送化學品，由于安全需要，所述化學品通常需密閉傳輸，傳輸化學品的管路通常用閥門連接。在長期使用后，由于化學品的腐蝕、堵塞或老化等原因，閥門可能發生故障而需要更換。在更換閥門前，一般需要將閥門連接的管路內的壓強降低至管路外的壓力，即進行卸壓，否則在拆卸閥門時可能會有管路內的殘余化學品溶液進出，造成事故。

目前在卸壓時，通常先吹掃管路，然后使用潔凈布包裹閥門接頭，緩慢拆卸，這樣存在很大風險，尤其是當上游閥門不能打開而且管路模糊不清時(尤其是HCL和HNO3管路)，很容易導致溶液進出造成事故。

實用新型內容

本實用新型提供了閥門更換裝置，發明目的在于避免現有方案在更換閥門時容易有殘液殘壓從閥門連接的管路進出而導致安全事故的問題，提高了閥門更換的安全性。

管路密閉結構，設置有內部空間，所述內部空間足夠容納閥門和該閥門連接的管路端口，且能夠打開和密閉；

排放裝置，連至管路密閉結構，并與內部空間連通，且設置有排放口及連接至排放口的排放控制開關，所述排放控制開關控制排放口排放和不排放。

可選的，所述管路密閉結構內壁設置有閥門固定夾，能夠將閥門固定在管路密閉結構上，以斷開閥門與管路的連接。

可選的，所述管路密閉結構內壁還設置有管路固定夾，能夠將管路固定在管路密閉結構上，以斷開閥門與管路的連接。

可選的，所述管路密閉結構由連通的多節筒狀體構成，沿管路與閥門的連接方向，各筒狀體能相對伸縮，以斷開閥門和管路的連接。

本實用新型提供的閥門更換裝置中的管路密閉結構內設置有能夠容納閥門及其連接的管路端口的內部空間，且該內部空間能夠打開和密閉，從而能夠將所述閥門及管路端口密閉在該內部空間，在斷開閥門及管路端口時殘余物只能濺出在該內部空間，此外所述閥門更換裝置中的排放裝置連通至內部空間，并有排放口及排放控制開關，因此殘余物濺至內部空間后，能夠通過排放控制開關控制將殘余物從排放口排放出去，從而避免了現有技術中殘余物進出導致安全事故等問題，提高了閥門更換的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中閥門更換裝置的結構示意圖；

圖2～圖3為本實施例更換閥門前后的管路和閥門更換裝置的結構示意圖。

具體實施方式

針對背景技術提及的問題，本發明人提出，如果在更換閥門時能夠將閥門及其連接的管路端口密閉，然后斷開閥門端口，將殘液殘壓等排放后，最后將閥門更換，則就提高了閥門更換的安全性。針對該設計思路，本實用新型實施例提供了閥門更換裝置，包括：

管路密閉結構，設置有內部空間，所述內部空間足夠容納閥門和該閥門連接的管路端口，且能夠打開和密閉，可以在更換閥門時將閥門和閥門連接的管路端口密閉；以及

排放裝置，連至管路密閉結構，并與內部空間連通，且設置有排放口及連接至排放口的排放控制開關，所述排放控制開關控制排放口排放和不排放，可以在斷開閥門后，排放在斷開閥門后從管路端口流入內部空間的殘余物，并降低內部空間壓強。

圖1為本實用新型實施例中閥門更換裝置的結構示意圖，該圖所示僅為本實用新型提供的方案中較佳的一種實施方式，不能理解為對本實用新型的限定。

圖1所示裝置包括：三節筒狀體連通構成的管路密閉結構10，這三節筒狀體可伸縮。在管路密閉結構10上方設置有封閉擋板11，該擋板11上設置有孔，能夠將管路套于孔內，在使用時，該孔由O型圈(O-ring)密封。管路封閉結構10內壁設置有閥門固定夾12及管路端口固定夾14，分別用于將閥門和管路端口固定在管路封閉結構10的不同筒狀體上。筒狀體的連接端13能夠實現筒狀體沿管路方向移動，以斷開閥門與管路端口的連接。

圖2～圖3為本實施例更換閥門前后的管路和閥門更換裝置的結構示意圖，當需要更換閥門時，首先吹掃管路，然后將閥門更換裝置套于管路上，封閉管路端口及閥門，并將閥門及管路端口固定，如圖2。

然后松開閥門上下接頭螺母關閉密封，將卸流管插入廢液排放管，打開卸流閥，然后雙向拉伸卸壓器便將閥門拆卸下來，同時管路內的殘液與殘壓通過卸流孔排放除去，如圖3。

顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。