[實用新型]一種光電液位測量裝置

有效

• 申請號: 201020564875.1
• 申請日: 2010-10-16
• 公開（公告）號: CN201844865U
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 莊加保
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01F23/56
• 分類號: G01F23/56
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種液位測量裝置，尤其涉及一種光電液位測量裝置。

背景技術

在半導體制造工藝中，研磨步驟是對晶圓表面的機械加工。研磨晶圓的目的是去除晶圓表面的切痕或凹凸不平，使表面加工損傷平整均勻，在化學腐蝕過程中，其表面腐蝕速率即可均勻一致。目前研磨液(例如OXSIDE?1501)是非常容易結晶的化學品，在空氣中極易結晶，在接觸的物體表面上附著且難以清洗，隨著時間的推移，表面結晶將越來越嚴重。在實際生產中，將使用過的研磨液收集在集液箱或集液桶，就遇到結晶問題，現有技術中集液箱或集液桶內設置有液位測量用多浮子液位測量裝置，所述多浮子液位測量裝置是一種簡單而實用的液位測量儀表，主要用于工業生產過程中敞開或承壓容器內液位的控制，當液位處于高限或低限時，會發生開關動作，例如發出報警信號或控制泵、控制閥的開啟或關閉。多浮子液位測量裝置安全性好，壽命長。通常情況下，從集液箱或集液桶頂部放入多浮子液位開關，浮子隨液位上升或下降而上、下移動，當浮子到達某個液位控制點時，浮子開關的控制裝置會發出報警信號。然而，經過一段時間的使用，就會發生浮子被結晶物卡出無法上升、下降，造成測量失效的問題發生。

現有技術中，定期對多浮子液位測量裝置的附著晶體進行清理。一般有兩種方法：1、采用金屬刷子清理附著在多浮子液位測量裝置的結晶物。由于使用金屬刷子的清理，造成對多浮子限位開關表面的刮傷，造成表面更加容易結晶，從而結晶越來越嚴重。2、用大量的氫氧化鉀(KOH)溶液浸泡多浮子液位測量裝置，以溶解結晶在多浮子液位測量裝置表面的結晶物，然而由于設備需要一直運行，故不能長時間浸泡，效果不佳。

不僅在半導體研磨工藝中，在其他工藝，甚至其他領域中也出現因收集液結晶阻塞多浮子液位測量裝置的浮子，從而影響液位測量的問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，提供一種不會因收集液結晶阻塞測量的、且結構簡單易于制作的光電液位測量開關。

為解決上述問題，本實用新型提供一種光電液位測量裝置，包括：

浮子，包括導向桿和固定于所述導向桿末端的浮球；

定位管，所述定位管套設在所述導向桿上，所述定位管上設置有至少一組透光孔；

光電檢測裝置，包括設置于所述透光孔處的發光設備和感光設備、以及與所述感光設備電性相連的控制設備。

較佳的，所述導向桿的水平橫截面為橢圓形。

可選的，所述定位管的水平橫截面為矩形或橢圓形。

進一步的，所述發光設備和所述感光設備的外部均包裹有遮光盒。

進一步的，所述一組透光孔包括正對的兩個透光孔，其中一個透光口上設置所述發光設備，其中另一個透光孔上設置所述感光設備。

進一步的，所述發光設備為光電二極管，所述感光設備為感光二極管，所述控制設備為可編程邏輯控制器。

進一步的，所述導向桿與所述導向桿與所述浮球為一體成型。

優選的，所述浮球與所述導向桿的材料為聚四氟乙烯。

優選的，所述定位管的材料為聚四氟乙烯。綜上所述，本實用新型中所述光電液位測量裝置采用光電測量設備，不會因收集液結晶阻塞而影響測量。

所述光電測量設備將測量用發光設備、集光設備和控制設備與收集液完全不接觸，使測量工作更加穩定持久具有低維護頻率的優點，同時所述光電測量設備結構簡單、易于制作、運行成本低耗能小。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例中光電液位測量裝置的使用狀態圖一。

圖2為沿圖1中AB方向的橫截面示意圖。

圖3為本實用新型一實施例中光電液位測量裝置的使用狀態圖二。

具體實施方式

為使本實用新型的內容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本實用新型的內容作進一步說明。當然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領域內的技術人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實用新型的保護范圍內。

其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細的表述，在詳述本實用新型實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應以此作為對本實用新型的限定。

圖1為本實用新型一實施例中光電液位測量裝置的使用狀態圖一。請參考圖1，所述光電液位測量裝置包括：浮子200，包括導向桿200b和固定于所述導向桿200b末端的浮球200a；定位管，所述定位管300套設在所述導向桿200b上，所述定位管300上設置有至少一組透光孔401；光電檢測裝置，包括設置于所述透光孔401處的發光設備404和感光設備405、以及與所述感光設備405電性相連的控制設備403。