[實用新型]單晶爐中三瓣堝

無效

• 申請號: 201020557194.2
• 申請日: 2010-10-09
• 公開（公告）號: CN201942781U
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 殷國慶
• 申請（專利權）人: 常州益鑫新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

所屬技術領域：

本實用新型涉及一種用于直拉硅單晶爐的加熱設備，特別是涉及一種單晶爐中三瓣堝。

背景技術：

硅硅單晶的大部分用切克勞斯基(Czochralski)法制造。在這種方法中，多晶硅被裝進石英坩堝，加熱熔化，然后，將熔硅略作降溫，給予一定的過冷度，把一只特定晶向的硅單晶體(籽晶)與熔體硅接觸，通過調整熔體的溫度和籽晶向上提升的速度，使籽晶縮頸排除位錯后長大至目標直徑時，提高提升速度，使單晶體恒直徑生長。在生長過程的尾期，此時堝內的硅熔體尚未完全消失，通過增加晶體的提升速度和調節向堝的供熱量將晶體直徑逐漸減小而形成一個尾形錐體，當錐體的尖足足夠小時，晶體就會與熔體脫離，從而完成晶體的生長過程。直徑硅單晶在制造時大致分為這么幾個階段：裝多晶料、抽空、多晶硅熔化、晶和肩的生長、等直徑生長、尾部晶體生長、晶體冷卻。由于在高溫過程中，承載設備三瓣堝會因為氧化等作用而發生損耗，特別堝瓣與堝瓣之間的間隙將變大，造成生產上的不便。

發明內容；

本實用新型將舊三瓣堝每瓣堝的兩端上邊口各打一個45°的斜角，用鉬絲固定兩瓣堝。

本實用新型的設計，能夠解決由于三瓣堝所用次數過多后造成的堝瓣與堝瓣之間縫隙過大的問題。三瓣堝所用次數過多后堝瓣與堝瓣之間縫隙會越來越大，由于石英坩堝在高溫下會變軟，會根據石墨坩堝的形狀而變化。如果三瓣堝之間的縫隙過大，石英坩堝會膨脹開，影響石英坩堝的壽命和堝位的穩定性。如果縫隙再大點的話，會導致三瓣堝與加熱器摩擦，使得液面晃動；更嚴重的會導致打火，損害加熱器。

本實用新型將舊三瓣堝每瓣堝的兩端上邊口各打一個45°的斜角，用鉬絲固定兩瓣堝，這樣兩兩固定后，三瓣堝會和新的一樣嚴絲合縫。這樣石英坩堝高溫軟化后的形狀會更固定，對熔體堝位的影響更低，也會降低與加熱器摩擦的可能性。

本實用新型的運用，對于延長三瓣堝的使用次數，完善石英坩堝使用后形狀控制和熔體堝位控制，減少由于三瓣堝的原因導致與加熱器的摩擦可能性起到了有效地作用。

附圖說明：

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

附圖1本實用新型結構示意圖的主剖視圖；

附圖2、三瓣堝俯視圖；

附圖3、單瓣堝側視圖。

附圖中1、2、3是三瓣堝，4是鉬絲，5是石英坩堝，6是熔體，7是加熱器。

具體實施方式：

本主要包括三瓣堝(1、2、3)、鉬絲(4)、石英坩堝(5)、熔體(6)、加熱器7將舊三瓣堝每瓣堝(1、2、3)的兩端(1-1、1-2、2-1、2-2、3-1、3-2)上邊口各打一個45°的斜角，用鉬(絲)4固定兩瓣堝，這樣兩兩固定后，三瓣堝會和新的一樣嚴絲合縫。這樣石英坩堝(5)高溫軟化后的形狀會更固定，熔體(6)堝位穩定，也降低與加熱器(7)摩擦的可能性。