[實用新型]綜合利用廢硅粉生產三氯氫硅的設備

無效

• 申請號: 201020550140.3
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN201864576U
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發明（設計）人: 張世斌;秦永紅;王良珣;王市民;張麗娜
• 申請（專利權）人: 河南尚宇新能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;C01B33/02;B01D50/00
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張紹琳;孫詩雨

1.一種綜合利用廢硅粉生產三氯氫硅的設備，包括三氯氫硅合成爐（1），其特征在于：三氯氫硅合成爐混合氣出口管道（2）連接高效旋風分離器（3），高效旋風分離器（3）的出料口與硅粉回收罐（12）連接；高效旋風分離器（3）的出氣口連接一級旋風分離器（4），一級旋風分離器（4）的下方設有一級存渣罐（5），?一級旋風分離器（4）的出氣口連接二級旋風分離器（6），二級旋風分離器（6）的下方設有二級存渣罐（7）；二級旋風分離器（6）的出氣口依次連接一級布袋除塵器（8）和二級布袋除塵器（9），一級布袋除塵器（8）和二級布袋除塵器（9）出料口均通過吹渣管道（11）與硅粉回收罐（12）相連接，硅粉回收罐（12）的出料口與三氯氫硅合成爐回收口（19）連接。

2.根據權利要求1所述的綜合利用廢硅粉生產三氯氫硅的設備，其特征在于：該設備還設有氣體緩沖罐（17），氣體緩沖罐（17）與硅粉回收罐（12）相連通。

3.根據權利要求2所述的綜合利用廢硅粉生產三氯氫硅的設備，其特征在于：在硅粉回收罐（12）頂部設有平衡泄壓管（14）和氮氣補壓管（15）。

4.根據權利要求1或2所述的綜合利用廢硅粉生產三氯氫硅的設備，其特征在于：在硅粉回收罐（12）和三氯氫硅合成爐回收口（19）之間設有星形加料器（13）。

5.根據權利要求4所述的綜合利用廢硅粉生產三氯氫硅的設備，其特征在于：吹渣管道（11）末端設有吹渣補氣閥門（18）。