[實用新型]一種提純三氯氫硅的精餾設備

無效

• 申請號: 201020550139.0
• 申請日: 2010-09-30
• 公開（公告）號: CN201809177U
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 楊金星;秦永紅;陳建利;趙建橋;王國正
• 申請（專利權）人: 河南尚宇新能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張紹琳;孫詩雨

1.一種提純三氯氫硅的精餾設備，其特征在于：包括預塔（3）、三氯氫硅精餾塔（10）和四氯化硅精餾塔（17），預塔進料泵（1）與預塔進料口連接，預塔（3）塔頂設有預塔一級冷凝器（4）和預塔二級冷凝器（5），預塔一級冷凝器（4）冷凝液出口與預塔回流罐（6）進料口連接，預塔回流罐（6）出料口與預塔（3）回流口連接，預塔二級冷凝器（5）冷凝液出口與二氯二氫硅成品罐（22）連接；預塔二級冷凝器（5）的出氣口通過管道與機前緩沖罐（25）相連接；

預塔塔底出料口依次連接三氯氫硅進料槽（7）、三氯氫硅進料泵（8）；三氯氫硅進料泵（8）與三氯氫硅精餾塔（10）進料口連接，三氯氫硅精餾塔（10）頂部設有三氯氫硅精餾塔一級冷凝器（11）和三氯氫硅精餾塔二級冷凝器（12），三氯氫硅精餾塔一級冷凝器（11）和三氯氫硅精餾塔二級冷凝器（12）的冷凝液出口均與回流槽（13）連接，回流槽（13）出液口與三氯氫硅精餾塔回流口連接，另一出液口連接三氯氫硅成品罐（23）；三氯氫硅精餾塔二級冷凝器（12）的出氣口通過管道與機前緩沖罐（25）相連接；

三氯氫硅精餾塔塔底出料口依次連接四氯化硅進料槽（14）、四氯化硅進料泵（15），四氯化硅進料泵（15）與四氯化硅精餾塔（17）進料口連接，四氯化硅精餾塔（17）頂部設有四氯化硅精餾塔一級冷凝器（18）和四氯化硅精餾塔二級冷凝器（19），四氯化硅精餾塔一級冷凝器（18）和四氯化硅精餾塔二級冷凝器（19）的冷凝液出口均與回流罐（20）連接，回流罐（20）出液口與四氯化硅精餾塔回流口連接，另一出液口連接四氯化硅成品罐（24）；四氯化硅精餾塔二級冷凝器（13）的出氣口通過管道與機前緩沖罐（25）相連接。

2.根據權利要求1所述的提純三氯氫硅的精餾設備，其特征在于：所述的預塔為導向篩板塔，塔板數為22～26塊，預塔底部設有預塔再沸器（2）。

3.根據權利要求1或2所述的提純三氯氫硅的精餾設備，其特征在于：所述的三氯氫硅精餾塔為導向篩板塔，塔板數為38～42塊，三氯氫硅精餾塔底部設有三氯氫硅精餾塔再沸器（9）。

?4.?根據權利要求3所述的提純三氯氫硅的精餾設備，其特征在于：所述的四氯化硅精餾塔為導向篩板塔，塔板數為38～42塊，四氯化硅精餾塔底部設有四氯化硅精餾塔再沸器（16）。