[實用新型]太陽能電池PECVD鍍膜機下料端風冷散熱裝置

無效

• 申請號: 201020548389.0
• 申請日: 2010-09-29
• 公開（公告）號: CN201801591U
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 李鋒
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及晶體硅太陽能電池PECVD鍍膜設備技術領域，特別是一種太陽能電池PECVD鍍膜機下料端風冷散熱裝置。

背景技術

現有OTB公司的等離子體增強化學氣相沉積設備DEPx2400僅有LLO型具有冷卻硅片的作用，但傳出的硅片溫度依然較高，約200℃，不能有效地冷卻硅片，而溫度較高的硅片會引起的一系列設備及工藝問題，如設備當機、碎片和電池片外觀等。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種太陽能電池PECVD鍍膜機下料端風冷散熱裝置，可以及時冷卻的硅片。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種太陽能電池PECVD鍍膜機下料端風冷散熱裝置，包括固定支架，鉸接機構和風扇，風扇通過鉸接機構安裝在固定支架上，固定支架安裝在鍍膜機下料端載車的上方，風扇的角度通過鉸接機構進行調節，使風扇吹出的冷卻風吹向下料端上的硅片。

風扇的數量與鍍膜機下料端載車的列數相同，風扇的布置位置與鍍膜機下料端載車的每一列對應。

本實用新型的有益效果是：在下料端安裝本風冷散熱裝置，調整好風向和大小，能有效地冷卻鍍膜硅片，防止硅片溫度較高導致抓手異常，造成設備報警當機和熱應力導致碎片發生。同時，薄膜溫度高，相對較軟且易于劃傷，而充分冷卻的薄膜較硬，有利于減少劃傷引起的不良，提高工序良率，從而有效降低制造成本和提升電池的品質質量。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明；

圖1是本實用新型的結構示意圖。

其中：1.鍍膜機下料端載車，2.風扇，3.固定支架，4.鉸接機構。

具體實施方式

現在結合附圖1對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

一種太陽能電池PECVD鍍膜機下料端風冷散熱裝置，包括固定支架3，鉸接機構4和風扇2，利用現有機臺下料端鋼架結構，選好位置和角度，角度一般選擇80～60°，然后預安裝風扇2、鏈接機構4和固定支架3，風扇1選取可變速軸流風扇，固定支架3和鏈接機構4選用不銹鋼材，固定支架3兩側鉆孔并用螺絲固定在機臺鋼架上，位于鍍膜機下料端載車1的上方，鍍膜機下料端載車1有三列，風扇2的數量與鍍膜機下料端載車1的列數相同，風扇固定位置對應鍍膜機下料端載車1的三列。在機臺實際運行過程中，調整風扇1的角度，使得冷卻風吹向硅片，但又不至于將抓手上的硅片吹掉。為了更好的實現該設計的目的，定期對風扇1進行清理和加固，防止風扇1中異物掉落到硅片表面影響電池片的質量，同時杜絕一些安全隱患造成的嚴重損失。鉸接機構4為可扭轉結構，風扇2的角度通過鉸接機構4進行調節。在下料端可安裝兩個本風冷散熱裝置。