[實(shí)用新型]硅片鍍膜載板

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020548045.X
• 申請日: 2010-09-29
• 公開（公告）號: CN201793736U
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張矚君
• 申請（專利權(quán)）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 王凌霄

1.一種硅片鍍膜載板，其特征是：在載板(1)的前端與后端分別安裝一條垂直載板前進(jìn)方向的勻流條(2)，勻流條(2)高出載板的上端和下端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片鍍膜載板，其特征是：所述的勻流條(2)高出載板上端2～10mm，高出載板下端2～10mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片鍍膜載板，其特征是：所述的勻流條(2)為石墨材質(zhì)。