[實用新型]用于鑲嵌樣品的掃描電鏡專用夾具

有效

• 申請號: 201020542214.9
• 申請日: 2010-09-26
• 公開（公告）號: CN201829449U
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 唐靜;謝杰
• 申請（專利權）人: 攀鋼集團鋼鐵釩鈦股份有限公司;攀鋼集團攀枝花鋼鐵研究院有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 成都虹橋專利事務所 51124
• 代理人: 何強

技術領域

本實用新型涉及一種夾具，具體涉及一種用于鑲嵌樣品的掃描電鏡專用夾具。

背景技術

目前，掃描電鏡對試樣的基本要求是具有良好的導電性。對于形狀不規則的、細小的及需要觀察表層等不易拿的或保邊的試樣，需要對試樣進行鑲嵌，再進行磨制、拋光、腐蝕等處理。目前，鑲嵌材料主要是不導電的各種樹脂，對試樣進行鑲嵌后使本來導電的試樣被鑲嵌材料所包圍，使試樣的導電性變差，在電子束的轟擊下，造成電荷積累而產生荷電效應，會給觀察和分析帶來很大的困難，例如：造成圖像畸變，嚴重時甚至無法成像，并給元素分析帶來誤差等，影響了掃描電鏡的觀察。為此，Struers?Ltd.(丹麥司特爾公司)和Buehler?Ltd.(美國標樂公司)分別推出了只能進行熱鑲嵌的、用于SEM(掃描電子顯微鏡)帶有碳粉填充的酚醛熱鑲嵌樹脂和石墨粉填充的酚醛熱鑲嵌樹脂及用于導電的帶有鐵粉填充的丙烯酸熱鑲嵌樹脂和銅粉填充的熱鑲嵌環氧樹脂。但是有很多試樣在鑲嵌時是不能承受壓力或溫度的，即不能承受熱鑲嵌的，例如淬火裂紋、表面有腐蝕產物、或具有孔隙的等離子涂層試樣及淬火馬氏體受熱后會轉變為回火馬氏體等，就需要進行冷鑲嵌，以避免加熱、加壓時組織改變或受到損毀。目前，掃描電鏡僅能對非鑲嵌試樣或熱鑲嵌試樣進行操作，還沒有任何冷鑲嵌材料能滿足導電的需求，在一定程度上限制了掃描電鏡的功能發揮。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種用于鑲嵌樣品的掃描電鏡專用夾具，可實現冷鑲嵌樣品的導電性。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：用于鑲嵌樣品的掃描電鏡專用夾具，包括具有容腔的導電基座，在導電基座上設置有可伸入導電基座容腔的導電件。

進一步的是，導電基座的側壁上設置有緊固裝置。

進一步的是，所述緊固裝置為穿透導電基座側壁的螺釘。

進一步的是，所述導電件為導電薄片。

進一步的是，所述導電薄片通過緊固螺釘與導電基座緊固連接。

進一步的是，在導電薄片上設置有U型槽口，緊固螺釘穿過U型槽口與導電基座緊固連接。

進一步的是，導電薄片伸入導電基座容腔的一端設置有向下的彎折觸頭。

進一步的是，所述導電薄片具有兩個，對稱布置在導電基座上。

本實用新型的有益效果是：通過導電基座與導電件的設置，可使試樣與導電基座通過導電件形成一個導電體，從而實現了鑲嵌樣品的導電性，拓展了掃描電鏡對樣品的可使用范圍；夾具結構簡單，制造方便，且該夾具不受熱、冷鑲嵌材料的影響，無需必須選擇導電的熱鑲嵌材料，從而可降低成本，同時還不受被鑲嵌樣品形狀、大小的影響，很方便地實現了鑲嵌樣品的導電性，尤其適合鑲嵌樣品采用冷鑲嵌材料的掃描電鏡試驗中推廣應用。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1的俯視圖。

圖中標記為：導電基座1、導電件2、螺釘3、U型槽口4、緊固螺釘5、彎折觸頭6、試樣7、鑲嵌材料8。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

如圖1、圖2所示，本實用新型的用于鑲嵌樣品的掃描電鏡專用夾具，包括具有容腔的導電基座1，在導電基座1上設置有可伸入導電基座1容腔的導電件2。夾持時，將鑲嵌樣品(由試樣7與鑲嵌材料8組成)放入到導電基座1的容腔內，然后使導電件2與試樣7接觸，這樣，試樣7與導電基座1通過導電件2形成一個導電體，從而實現了鑲嵌樣品的導電性，拓展了掃描電鏡對樣品的可使用范圍；夾具結構簡單，制造方便，且該夾具不受熱、冷鑲嵌材料的影響，無需必須選擇導電的熱鑲嵌材料，從而可降低成本，同時還不受被鑲嵌樣品形狀、大小的影響，很方便地實現了鑲嵌樣品的導電性。

為便于將鑲嵌樣品固定在導電基座1內，導電基座1的側壁上設置有緊固裝置。如可以選用彈性緊固裝置，當鑲嵌樣品放入時，壓縮彈性緊固裝置，鑲嵌樣品放到位后，松開彈性緊固裝置，則可使彈性緊固裝置將鑲嵌樣品緊固。作為優選方式，所述緊固裝置為穿透導電基座1側壁的螺釘3。如圖1所示，鑲嵌樣品放入時，將螺釘3旋出導電基座1的容腔，鑲嵌樣品放好后，將螺釘3旋入即可將鑲嵌樣品固定在導電基座1內。

在以上的實施方式中，導電件2可為一根導電桿件，作為優選方式，所述導電件2為導電薄片，最好采用導電性較好的鋁或銅制作。導電薄片可直接放置在導電基座1與試樣7之間，而為了使導電效果更佳，所述導電薄片通過緊固螺釘5與導電基座1緊固連接，可使導電薄片與試樣7、導電基座1充分接觸，提高導電效果。