[實用新型]真空系統氦氣恒壓控制裝置

無效

• 申請號: 201020541758.3
• 申請日: 2010-09-26
• 公開（公告）號: CN201788423U
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 佘磊;楊玉娜;柳浩;屈萬成;李交美
• 申請（專利權）人: 中國科學院武漢物理與數學研究所
• 主分類號: G05D16/20
• 分類號: G05D16/20
• 代理公司: 武漢荊楚聯合知識產權代理有限公司 42215
• 代理人: 王健

1.真空系統氦氣恒壓控制裝置，其特征在于，該裝置由信號探測部件（1）、脈寬調制信號部件（2）、功率調節部件（3）、氦氣源（4）和真空系統（5）組成；信號探測部件（1）由真空規電源（11）、真空規（12）和電流電壓轉換電路（13）組成，脈寬調制信號部件（2）由信號放大電路（21）、電壓設定電路（22）、減法電路（23）、比例積分微分電路（24）、鋸齒波發生電路（25）和電壓比較電路（26）組成，功率調節部件（3）由過零觸發器（31）和雙向可控硅（32）組成，氦氣源（4）由氦瓶（41）、減壓閥（42）和氦漏（43）組成；真空規（12）安裝在真空系統（5）上，真空規（12）電源接口與真空規電源（11）連接，真空規（12）信號接口與電流電壓轉換電路（13）輸入端連接，電流電壓轉換電路（13）輸出端與信號放大電路（21）輸入端連接，信號放大電路（21）輸出端和減法電路（23）負輸入端連接，減法電路（23）正輸入端連接到電壓設定電路（22），減法電路（23）輸出端與比例積分微分電路（24）輸入端連接，比例積分微分電路（24）輸出端與電壓比較電路（26）負輸入端連接，電壓比較電路（26）正輸入端與鋸齒波發生電路（25）連接，電壓比較電路（26）輸出端與過零觸發器（31）輸入端連接，過零觸發器（31）輸出端與雙向可控硅（32）的控制端連接，雙向可控硅（32）電流輸入端連接到電源，雙向可控硅（32）電流輸出端與氦漏（43）加熱絲的一端連接，氦漏（43）加熱絲的另一端與電源連接，氦漏（43）進氣口與減壓閥（42）出氣口連通，減壓閥（42）進氣口與氦瓶（41）出氣口連通，氦漏（43）出氣口與真空系統（5）連通。